X射線熒光光譜法可用于液體、粉末及固體材料的定性、定量分析。X射線熒光光譜儀可分為波長色散型(WD)和能量色散型(ED)。當X射線照射到供試品時，供試品中的各元素被激發(fā)而輻射出各自的熒光X射線。通過準直器經分光晶體分光，按照布拉格定律產生衍射，使不同波長的熒光X射線按照波長順序排列成光譜，不同波長的譜線由探測器在不同的衍射角上接收。根據測得譜線的波長識別元素種類；根據元素特征譜線的強度與元素含量間的關系，計算獲得供試品中每種元素含量百分數，即為X射線熒光光譜分析法。
 

　　優(yōu)點在于：首先，與原級X射線發(fā)射光譜法比，不存在連續(xù)X射線光譜，以散射線為主構成的本底強度小，譜峰與本底的對比度和分析靈敏度顯著提高，操作簡便，適合于多種類型的固態(tài)和液態(tài)物質的測定，并易于實現分析過程的自動化。樣品在激發(fā)過程中不受破壞，強度測量的再現性好，以及便于進行無損分析等。其次，與原子發(fā)射光譜法相比，除輕元素外，特征(標識)X射線光譜基本上不受化學鍵的影響，定量分析中的基體吸收和增強效應較易校正或克服，譜線簡單，互相干擾比較少，且易校正或排除。
 

　　X 射線熒光光譜法可用于冶金、地質、化工、機械、石油、建材等工業(yè)部門，以及物理、化學、生物、地學、環(huán)境科學、考古學等。還可用于測定涂層和金屬薄膜的厚度和組成以及動態(tài)分析等。
 

　　實驗前準備
 

　　液體供試品可以直接進樣分析，固體供試品可以直接壓片或與適當的輔劑混合處理后壓片進樣分析。儀器使用前應使用國家標準物質或其他可溯源的標準物質校正。X射線熒光光譜法中一般應選擇強度大、干擾少、背景低的特征譜線作為分析線。
 

　　定性分析
 

　　根據每種元素特征X射線熒光譜線可對供試品中所含元素種類進行定性分析。
 

　　定量測定法
 

　　標準曲線法、內標法、標準加入法、數學校正法