壓電平移臺,納米定位臺,壓電陶瓷控制器|驅(qū)動器,機械封裝壓電陶瓷技術(shù)文章|技術(shù)資料第（9）頁-哈爾濱芯明天科技有限公司

2021
05-29

N31系列直線壓電馬達，行程可達100mm!
N31系列直線壓電馬達，內(nèi)部采用PZT壓電式驅(qū)動，直線運動行程可選25、50、100mm，可達亞納米級分辨率?？蛇x配閉環(huán)伺服傳感器（增量式編碼器），具有更高的定位精度。可選移動臺面。特點?大出力?閉環(huán)誤碰后自動歸位?上電自動找零位?可選光柵數(shù)字閉環(huán)?采用耐磨材料，真空無磁兼容應(yīng)用領(lǐng)域?工業(yè)級精密定位?半導體技術(shù)/測試?晶圓檢測?平版印刷?納米壓印?納米計量學?在強磁場和真空中運動大出力N31系列直線壓電馬達的主動推拉力可達50N，被動保持力達60N。并且，N31水平放置時，可承載10kg負載下進
2021
05-29

超分辨率顯微鏡中的壓電納米定位系統(tǒng)
超分辨率（SR）顯微鏡是一個描述新興光學顯微鏡的廣泛概念，盡管常規(guī)的光學顯微鏡最高可實現(xiàn)百納米的分辨能力，但這種超分辨率技術(shù)可實現(xiàn)數(shù)十納米的分辨率。SR顯微鏡利用特定熒光探針特性分離兩個緊密間隔的熒光源發(fā)出的光子，從而使它們可以分別成像，避免了衍射極限，從而可以觀察細胞在納米世界中的動態(tài)效果。芯明天所提供的壓電納米定位臺系統(tǒng)，可以在通過對測量的系統(tǒng)漂移進行主動反饋補償來實現(xiàn)成像系統(tǒng)的超高分辨率及超高穩(wěn)定性。P73系列壓電物鏡定位器P73.Z1000為Z向大行程壓電物鏡定位器，Z軸直線運動范圍可達
2021
05-26

壓電陶瓷究竟是什么東西
壓電陶瓷作為其壓電平臺提供運動的執(zhí)行器件。執(zhí)行器與多個壓電陶瓷堆疊在一起，以提供更大的位移，因此提供了“壓電堆疊”一詞。壓電陶瓷所用的材料是陶瓷PZT（鋯鈦酸鉛）。我們生活中常見的電子玩具小狗、小貓的有趣叫聲，是由安裝在這些小動物肚子里的一只叫蜂鳴器的元件發(fā)出的。這蜂鳴器就是用壓電陶瓷做的。壓電現(xiàn)象是1880年居里弟兄倆發(fā)現(xiàn)的。他們在天然的水晶片上放上重物施加拉力后，它的兩個表面會出現(xiàn)不同的電荷，產(chǎn)生電勢差；相反，當電荷作用到晶片上時，晶片就會發(fā)生伸縮形變。如果加的是交變電壓，那就會引起機械振動
2021
05-24

基于PZT壓電陶瓷促動器的微點膠方案
近年以壓電陶瓷驅(qū)動的非接觸式微點膠方式漸漸發(fā)展起來，目前較多應(yīng)用于微量試劑分配領(lǐng)域,這種驅(qū)動方式可以點出pL級別的小體積液滴?；趬弘娞沾赡鎵弘娦?yīng)，壓電陶瓷在電壓脈沖的作用下，產(chǎn)生收縮擴張運動，驅(qū)動與其連接的活塞（圖1a）、粘接一體的毛細管（圖1b）、金屬薄膜（圖1c）等產(chǎn)生位移或形變，使管路或腔體體積變小，液體從噴嘴噴出。壓電驅(qū)動三種典型結(jié)構(gòu)及基本原理如下圖示，通過改變驅(qū)動電壓的幅值、頻率、噴嘴直徑、液體粘度、表面張力等可實現(xiàn)不同體積液滴的分配。圖1基于壓電原理的微點膠原理圖微點膠方案通過對
2021
05-24

P92.X20快速刀具定位臺
P92.X20系列快速刀具定位臺是專為超精密車削而設(shè)計的快速刀具微進給平臺，它采用直驅(qū)式驅(qū)動結(jié)構(gòu)，承載力大、頻率高，且采用閉環(huán)傳感器，具有納米級定位精度。特點?行程范圍18μm?滿行程下，使用頻率可達95Hz?負載能力300g?可選配閉環(huán)傳感器?直驅(qū)機構(gòu)典型應(yīng)用?金剛石鉆頭進給?精密金屬加工?高速工具控制?FTS快刀伺服車削系統(tǒng)?工件定位?精密加工與研磨?大負載工件精密定位相移時間開環(huán)滿行程18μm、95Hz，相位160μs。可選配閉環(huán)傳感器P92.X20可選配集成SGS應(yīng)變傳感器，以消除PZT
2021
05-19

壓電平臺在各種行業(yè)中的應(yīng)用
壓電平臺是采用壓電陶瓷驅(qū)動的納米定位臺，無摩擦、無空回柔性導向機構(gòu)，有限元分析優(yōu)化柔性鉸鏈機構(gòu)，柔性導向系統(tǒng)具有高導向度，高剛度，高負載，無磨損，免維護的特點，內(nèi)置位移傳感器進行全閉環(huán)反饋，確保了平臺具有良好的控制準確度、定位、分辨率和穩(wěn)定性，響應(yīng)速度快，穩(wěn)定時間達毫秒量級，平臺無磁性也不受磁場干擾。壓電平臺是實現(xiàn)切削的納米微加工的主要技術(shù)手段。這樣可以高速和準確地控制刀具切割和加工對象運動的定位。壓電平臺可進行防塵防液滴處理，使其可工作在濕度環(huán)境。壓電平臺本體材質(zhì)可采用不銹鋼材質(zhì)以加工過程中的
2021
05-17

基于壓電陶瓷促動器的振動激勵方法
壓電陶瓷促動器具有大出力、高諧振頻率、高精度、體積小的特點，在帶載的情況下，仍可執(zhí)行千赫茲以上的高頻激勵振動，是振動激勵應(yīng)用中一種新型的不錯選擇。壓電陶瓷促動器的外形非常小巧，可小至直徑OD9mm、高H19mm，如此小的外形，它的出力卻仍可高達200N，諧頻達40kHz。傳統(tǒng)中振動測試的常見的方法是使用電動振動器，但它的弊端是當運行超過機械頻率限制時，控制和信號質(zhì)量（控制偏差、橫向振動）通常會出現(xiàn)問題（電樞諧振）。與傳統(tǒng)方法相比，采用壓電陶瓷促動器作為激勵源的方法，可實現(xiàn)更高的頻率極限及更高的振
2021
05-17

壓電偏轉(zhuǎn)鏡用于激光掃描系統(tǒng)
激光光束偏轉(zhuǎn)及其掃描在半導體加工、航空航天、生物醫(yī)學、納米科學研究等領(lǐng)域得到了越來越多的應(yīng)用，同時對其性能要求也越來越高。壓電陶瓷驅(qū)動的偏轉(zhuǎn)鏡具有更高的精度和更高的頻率，采用應(yīng)變傳感器的閉環(huán)系統(tǒng)，具有很高的精確度。壓電偏擺鏡采用壓電陶瓷驅(qū)動器直接驅(qū)動，多用于圖象處理與穩(wěn)定、激光掃描與通信、光束偏轉(zhuǎn)與穩(wěn)定等系統(tǒng)。特點?二維θx、θy偏轉(zhuǎn)?偏轉(zhuǎn)范圍可達12.5mrad?毫秒響應(yīng)時間?閉環(huán)定位精度高?溫度穩(wěn)定性高?可定制適于航天應(yīng)用版本、真空版本閉環(huán)曲線P33.T8S壓電偏轉(zhuǎn)鏡的電壓與偏轉(zhuǎn)角度曲線。帶
2021
05-06

金絲球焊接中壓電技術(shù)的應(yīng)用
金絲球焊線技術(shù)，又稱為芯片打線技術(shù)，是一種初級內(nèi)部互連方法，它把框架引腳連到裸片表面或器件邏輯電路內(nèi)部，這種連接方式把邏輯信號或晶片的電信號與外界連接起來。金絲球焊線技術(shù)示意圖如下，金絲球焊接過程是一種不同于熱焊的固態(tài)焊接過程，其原理是通過超聲波發(fā)生器輸出超聲正弦波電信號，經(jīng)過超聲換能器轉(zhuǎn)變?yōu)闄C械振動，振幅經(jīng)超聲變幅桿放大后傳遞給焊接劈刀，使其在金屬接觸面產(chǎn)生摩擦。在焊接初期階段消除焊接區(qū)域氧化膜及雜質(zhì)，振動摩擦使兩種金屬充分接觸。在焊接階段，由于兩個焊接的交界面處聲阻大，因此產(chǎn)生局部高溫。在短
2021
05-06

大行程三維精密壓電平臺
P12.XY500Z800為大行程XYZ三維運動掃描臺，平臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，中心具有通孔，非常適用于近場掃描、共焦顯微等應(yīng)用。該系列掃描臺XY軸程可達500μm，Z軸直線運動行程可達800μm。中心通孔適配器為標準螺紋牙W0.8×1/36"，便于與顯微鏡集成安裝。可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。平臺內(nèi)部采用有限元分析（FEA）優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結(jié)構(gòu)。FEA使其設(shè)計具有盡可能高的剛度，并使線性和角度跳動最小化。開環(huán)、閉環(huán)可選，真空版本可選。特點?XYZ三維直線運動?XY行程
2021
04-25

壓電陶瓷的“共振頻率”說明
壓電陶瓷是指把氧化物混合(氧化鋯、氧化鉛、氧化鈦等)高溫燒結(jié)、固相反應(yīng)后而成的多晶體，并通過直流高壓極化處理使其具有壓電效應(yīng)的鐵電陶瓷的統(tǒng)稱，是一種能將機械能和電能互相轉(zhuǎn)換的功能陶瓷材料。由于具有較好的力學性能和穩(wěn)定的壓電性能，壓電陶瓷片作為一種重要的力、熱、電、光敏感功能材料，已經(jīng)在傳感器、超聲換能器、微位移器和其它電子元器件等方面得到了廣泛的應(yīng)用。隨著材料工藝的不斷研究和改良，以及電子、信息、航空航天等高科技領(lǐng)域日新月異的發(fā)展，作為含高智能新型材料的壓電陶瓷片的生產(chǎn)技術(shù)和應(yīng)用開發(fā)是人們關(guān)注的
2021
04-25

壓電掃描平臺在激光直寫系統(tǒng)中的應(yīng)用|光刻
激光直寫是利用強度可變的激光束對基片表面的抗腐蝕材料實施變劑量曝光，顯影后在抗腐蝕層表面形成所要求的浮雕輪廓，激光直寫系統(tǒng)的基本工作原理是由計算機控制高精度激光束掃描，在光刻膠上直接曝光寫出所設(shè)計的任意圖形，從而把設(shè)計圖形直接轉(zhuǎn)移到掩模上。激光直寫系統(tǒng)基本原理結(jié)構(gòu)激光直寫系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)如圖1所示，主要由He-Cd激光器、聲光調(diào)制器、投影光刻物鏡、CCD攝像機、顯示器、照明光源、工作臺、調(diào)焦裝置、He-Ne激光干涉儀和控制計算機等部分構(gòu)成。圖1激光直寫系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡圖激光直寫的基本工作流程是：用計算機
2021
04-25

一維Z向小體積直線壓電平臺
P11.Z100為小體積一維Z向壓電平移臺，平臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構(gòu)，機構(gòu)放大式驅(qū)動原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導向系統(tǒng)具有高的導向精度，具有高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。壓電定位臺的控制精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不受磁場的影響，壓電定位臺體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。特點?一維Z向運動?位移可達100μm?體積小巧?毫秒級響
2021
04-20

納米定位臺是如何滿足納米調(diào)節(jié)使用的？
納米定位臺具有移動面，是通過帶有柔性鉸鏈的機械結(jié)構(gòu)將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移及出力等進行輸出，分直驅(qū)與放大兩種結(jié)構(gòu)。以壓電陶瓷作為驅(qū)動源，結(jié)合柔性鉸鏈機構(gòu)實現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運動的壓電平臺，驅(qū)動形式包含壓電陶瓷直驅(qū)機構(gòu)式、放大機構(gòu)式。運動范圍可達500μm，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點。納米定位臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構(gòu)，一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計。機構(gòu)放大式驅(qū)動原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，
2021
04-19

壓電陶瓷的靜態(tài)特性之壓電陶瓷的位移與出力
在無預緊力及恒定負載條件下，F(xiàn)=衡量壓電陶瓷在恒力或者恒定質(zhì)量下，陶瓷被壓縮量的公式如下：（1.1）變化位移ΔL0的計算公式和無外力時是一樣的，見公式1.2。（1.2）如果施加的外力F的值過大，在沒有外加電壓的情況下，壓電陶瓷可能會發(fā)生退極化現(xiàn)象，這個影響主要取決于壓電陶瓷材料，我們可以通過施加電場的方式來對陶瓷重新極化，但施加外力F超過了陶瓷材料的限定值，陶瓷將不能被重新極化，還可能損壞內(nèi)部的陶瓷薄片。因此，施加的外力不要超過陶瓷材料的臨界值。下圖為陶瓷在受到恒力的條件下，位移和電壓的關(guān)系。圖
2021
04-19

360°旋轉(zhuǎn)壓電馬達
N61系列360°旋轉(zhuǎn)壓電馬達是由壓電陶瓷驅(qū)動，利用特殊機械結(jié)構(gòu)設(shè)計，將壓電陶瓷產(chǎn)生的直線微位移轉(zhuǎn)換為機械平面的宏觀角度旋轉(zhuǎn)運動。N61系列旋轉(zhuǎn)壓電馬達可產(chǎn)生360度旋轉(zhuǎn)運動，具有超高的旋轉(zhuǎn)分辨率，它的體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，非常適于集成，具有高性價比。特點?360度旋轉(zhuǎn)運動?位移增量為5μrad?速度可達5°/s?可上位機軟件控制技術(shù)參數(shù)型號：N61.R5K運動方向：360°，雙向速度上限：5°/s中心負載：5kg最小位移增量：5μrad最小刻度增量：2°電纜長度：1.2m工作溫度：10~40℃儲
2021
04-10

P60系列Z向大行程直線微運動平臺
P60系列Z向大行程直線微運動平臺P60.Z500是以壓電陶瓷為驅(qū)動源，并采用放大機構(gòu)的一維Z向運動的大行程直線微運動平臺，是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位系統(tǒng)，可達毫秒級響應(yīng)、納米級定位精度，并可選配高精度傳感器進行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適于定位應(yīng)用，如干涉中光路徑長度修正、顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等，已廣泛應(yīng)用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。P60.Z500系列壓電掃描臺，采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，可實現(xiàn)500μm的運動行程，優(yōu)異的結(jié)構(gòu)可承載2kg的負載，空載諧振頻率達290Hz。帶載階躍
2021
04-10

基于微位移技術(shù)提高CCD分辨率
在實際的應(yīng)用中，特別是科研領(lǐng)域，經(jīng)常需要較高分辨率的圖像，所以如何利用現(xiàn)有工藝水平下的CCD圖像傳感器件，獲得更高的分辨率就成了一個關(guān)鍵的問題。目前比較有效的一種方法是采用被攝物成的像與CCD圖像傳感器之間發(fā)生微小相對位移來記錄多幅圖像，然后利用多次采集的原始圖像來合成高分辨率的圖像。實際成像系統(tǒng)涉及光、電、機、算等多方面的內(nèi)容，其系統(tǒng)組成如下圖所示。通過算法將多幅微位移圖像融合，在這過程中會將CCD圖像傳感器的固有誤差放大，會限制合成圖像的分辨率。CCD圖像傳感器微小位移的精確性直接影響超分辨
2021
04-06

快速激光束偏轉(zhuǎn)及掃描解決方案|壓電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)！
激光束偏轉(zhuǎn)及其掃描在半導體加工、航空航天、生物醫(yī)學、納米科學研究等領(lǐng)域得到了越來越多的應(yīng)用，同時對其性能要求也越來越高，受其體積、掃描頻率、掃描精度、掃描分辨率等諸多因素的制約，傳統(tǒng)的掃描方式越來越難以滿足要求。目前反射式掃描成為主流，主要的掃描器有激光振鏡和快速偏擺鏡。振鏡具有很大的擺動角度但帶寬有限，在進行高頻掃描時掃描最大角度和線性度都會嚴重下降?；谝羧﹄姍C或壓電陶瓷驅(qū)動器的快速偏轉(zhuǎn)鏡具有很高的諧振頻率、掃描角度小、分辨率高、線性度好，一般應(yīng)用于自適應(yīng)光學、光束跟蹤和穩(wěn)定等要求快速響應(yīng)和
2021
04-06

芯明天壓電微定位技術(shù)
微定位技術(shù)是前沿技術(shù)之一，也是精密加工、精密測量、精密工程等微觀領(lǐng)域中的關(guān)鍵技術(shù)，在精密機械和精密儀器中應(yīng)用廣泛。微動定位平臺是精密定位技術(shù)中的一項重要載體。直線運動壓電納米定位臺芯明天直線運動壓電納米定位臺以壓電陶瓷作為驅(qū)動源，結(jié)合柔性鉸鏈機構(gòu)實現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸的精密運動，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點，可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠性。中心通孔版本，非常適用于透光精密光學器件的定位與調(diào)整、生物顯微與光學顯微成像等系統(tǒng)。偏轉(zhuǎn)運動壓電納米定位臺芯明天偏轉(zhuǎn)

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