壓電平移臺(tái),納米定位臺(tái),壓電陶瓷控制器|驅(qū)動(dòng)器,機(jī)械封裝壓電陶瓷技術(shù)文章|技術(shù)資料第（22）頁(yè)-哈爾濱芯明天科技有限公司

2019
03-11

P78系列壓電顯微樣品臺(tái)
P78壓電掃描臺(tái)是專為生物醫(yī)療應(yīng)用而設(shè)計(jì)的用于樣品顯微掃描的一維Z軸壓電掃描臺(tái)，它的外形結(jié)構(gòu)易集成于顯微儀器設(shè)備中。·一維Z向運(yùn)動(dòng)·Z向分辨率可達(dá)4nm·通孔尺寸為120×70mm·行程范圍110μm顯微成像、生物技術(shù)、超分辨率顯微鏡、光學(xué)圓盤(pán)顯微鏡、共聚焦顯微鏡、3D成像、篩選、干涉測(cè)量、測(cè)量技術(shù)、自動(dòng)聚焦系統(tǒng)、半導(dǎo)體測(cè)試等。P78壓電掃描臺(tái)對(duì)于納米范圍的對(duì)準(zhǔn)、納米聚焦、測(cè)量等應(yīng)用是非常理想的?？蛇x配橋式配置的閉環(huán)傳感器，可消除溫度漂移，保證了納米范圍的定位穩(wěn)定性。同時(shí)，通過(guò)FEA優(yōu)化了直線度
2019
02-25

壓電陶瓷剪切片
壓電陶瓷剪切片是利用壓電陶瓷剪切向效應(yīng)d15，通過(guò)施加正負(fù)電壓使得壓電陶瓷產(chǎn)生切向位移。特點(diǎn)±320V驅(qū)動(dòng)剪切運(yùn)動(dòng)單片位移1.5μm可疊堆獲得大位移或XYZ三維可切割應(yīng)用激光腔調(diào)諧振動(dòng)源精密定位微操作AFM原子力顯微鏡運(yùn)動(dòng)方式壓電剪切片一側(cè)具有切角，施加正壓的表面朝向切角方向運(yùn)動(dòng)。可帶載負(fù)載如鏡片等，做橫向運(yùn)動(dòng)。技術(shù)參數(shù)壓電剪切片安裝使用注意事項(xiàng)剪切片的電極在上下表面。它可以通過(guò)機(jī)械夾持或膠水進(jìn)行固定安裝。當(dāng)用機(jī)械夾持固定時(shí)一定要控制剪切片的軸向力，太低的力會(huì)導(dǎo)致滑動(dòng)但太大的力又會(huì)損壞陶瓷。在合
2019
02-25

壓電掃描臺(tái)|二維XY向直線運(yùn)動(dòng)
P18.XY300S壓電掃描臺(tái)為二維XY運(yùn)動(dòng)閉環(huán)直線掃描臺(tái)，采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)部以高可靠性的壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源，可以實(shí)現(xiàn)370μm/軸的高速掃描，通光孔徑為?35mm，非常適用于大行程多維掃描等應(yīng)用。特點(diǎn)位移可達(dá)370μm承載可達(dá)1.5kg通孔直徑：?35mm閉環(huán)重復(fù)定位精度高響應(yīng)速度快階躍時(shí)間單點(diǎn)定位應(yīng)用，P18.XY300S帶載100g負(fù)載階躍時(shí)間60ms。配套控制器P18.XY300S二維壓電掃描臺(tái)需要三個(gè)輸出通道的壓電控制器進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，其中兩個(gè)通道為可變0~120V輸出，另一通道為
2019
02-18

紅外熱成像掃描中的壓電掃描臺(tái)
紅外熱成像掃描技術(shù)應(yīng)用越來(lái)越廣泛，通過(guò)紅外敏感CCD對(duì)物體進(jìn)行成像，能反映出物體表面的溫度場(chǎng)。對(duì)提高航空航天器、多種軍、民用工業(yè)設(shè)備的安全可靠性具有重要意義。其中，芯明天N65系列二維壓電掃描臺(tái)以其高速高精度掃描等特點(diǎn)大大提高了熱成像的分辨率。N65壓電掃描臺(tái)N65系列壓電掃描臺(tái)為XY軸平移掃描臺(tái)，采用XY軸一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)，中心具有通孔尺寸為25×27.5mm，產(chǎn)品體積小巧、性能穩(wěn)定，N65系列掃描臺(tái)為開(kāi)環(huán)版本、動(dòng)態(tài)性好，適用于動(dòng)態(tài)掃描應(yīng)用領(lǐng)域及低溫環(huán)境。剛度大、分辨率高、諧振頻
2019
02-18

芯明天壓電精瞄鏡
芯明天壓電精瞄鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，內(nèi)部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過(guò)內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，補(bǔ)償量小，確保偏轉(zhuǎn)鏡具有的運(yùn)動(dòng)精度和超高的穩(wěn)定性，通過(guò)內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。P22系列運(yùn)動(dòng)自由度：θx光束偏轉(zhuǎn)范圍：8mrad分辨率：0.1μrad空載階躍時(shí)間：0.8msP33系列運(yùn)動(dòng)自由度：θxθy光束偏轉(zhuǎn)范圍：27mrad分辨率：0.02μrad空載階躍時(shí)間：1msP34系列運(yùn)動(dòng)自由度：θxθy光束
2019
02-11

P35系列大角度壓電偏轉(zhuǎn)鏡
P35系列是芯明天新推出的大角度壓電偏轉(zhuǎn)鏡。該產(chǎn)品采用無(wú)摩擦、柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，內(nèi)部裝配高可靠性的壓電陶瓷，可提供更好的穩(wěn)定性及可靠性。機(jī)械結(jié)構(gòu)上采用先進(jìn)的鉸鏈/杠桿設(shè)計(jì)將慣性減小，可實(shí)現(xiàn)±15mrad的大角度俯仰/偏轉(zhuǎn)范圍，且可達(dá)到毫秒級(jí)的響應(yīng)速度。特點(diǎn)·θx,θy二維偏轉(zhuǎn)·偏轉(zhuǎn)范圍±15mrad·空載諧頻：2kHz·亞毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間驅(qū)動(dòng)原理壓電偏轉(zhuǎn)鏡（兩軸運(yùn)動(dòng)）是基于平行運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)，具有共面軸及移動(dòng)面。四個(gè)執(zhí)行機(jī)構(gòu)（壓電促動(dòng)器）以90°角平分放置，成對(duì)的差分控制分布。兩對(duì)差分驅(qū)動(dòng)壓電促動(dòng)
2019
02-11

提高顯微鏡成像聚焦精度的方法
一般情況下，顯微鏡的兩側(cè)會(huì)有粗調(diào)和微調(diào)兩個(gè)手輪，隨著手輪的轉(zhuǎn)動(dòng)，顯微鏡的物鏡或載物臺(tái)會(huì)上下運(yùn)動(dòng)。手輪調(diào)節(jié)非常方便，但它有一個(gè)限制，手輪微調(diào)的精度只能達(dá)到0.002mm，即2μm。而對(duì)于精度要求達(dá)到幾個(gè)納米的微調(diào)，手輪調(diào)節(jié)就變得無(wú)能為力。而采用芯明天科技生產(chǎn)的壓電物鏡定位器，可大幅提高顯微鏡成像的聚焦精度。例如，P72壓電物鏡定位器，它的微調(diào)行程為110μm，而調(diào)節(jié)分辨率可達(dá)2.5nm，且裝配非常簡(jiǎn)單，只需安裝于物鏡上方即可，如下圖所示。P72壓電物鏡定位器可配套各種廠家的物鏡，且可定制連接的螺紋
2019
01-28

壓電陶瓷應(yīng)用于數(shù)字化微注射
如今，由于微米納米等微技術(shù)的迅猛發(fā)展，越來(lái)越多的行業(yè)對(duì)各微流量成分的控制提出了更嚴(yán)格的要求，特別是在流量控制技術(shù)、精密醫(yī)療技術(shù)、微流量注射技術(shù)等應(yīng)用中，壓電陶瓷以其分辨率高、響應(yīng)速度快、諧振頻率高等特點(diǎn)成為微量控制領(lǐng)域應(yīng)用的選擇。微注射系統(tǒng)是利用壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)，采用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，通過(guò)給壓電陶瓷施加電壓，改變其位移的大小和速率，利用注射針和針內(nèi)液體量體積的微小變化來(lái)達(dá)到微量注射的目的，具有分辨率高、體積小巧、易于集成、功耗低等優(yōu)點(diǎn)。芯明天壓電陶瓷芯明天壓電疊堆陶瓷具有優(yōu)異性能及超長(zhǎng)使
2019
01-28

通過(guò)壓電納米定位臺(tái)進(jìn)行力的閉環(huán)控制
*，由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的壓電納米定位臺(tái)，可完成納米量級(jí)的步進(jìn)，并且，壓電納米定位臺(tái)的步進(jìn)是通過(guò)電壓信號(hào)控制，產(chǎn)生的總位移與電壓信號(hào)成線性關(guān)系。此外，壓電納米定位臺(tái)也可產(chǎn)生出力，且出力也與電壓信號(hào)成線性關(guān)系。通過(guò)芯明天壓電納米定位臺(tái)配合探針系統(tǒng)、力傳感器等搭建一套力閉環(huán)系統(tǒng)，從而可進(jìn)行較特殊、高精度的材料表面微加工。力閉環(huán)控制的基本結(jié)構(gòu)如下圖所示。1.芯明天P84壓電測(cè)微頭，進(jìn)行位置的粗精調(diào)節(jié)；2.芯明天XP-63X系列壓電納米定位臺(tái)，帶動(dòng)探針做微米級(jí)運(yùn)動(dòng)，并控制探針與工件的接觸、接觸深度與分離；3.
2019
01-21

P13三維小體積壓電納米定位臺(tái)
P13系列三維壓電納米定位臺(tái)內(nèi)部采用的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，具有超高導(dǎo)向精度、負(fù)載能力大、無(wú)摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)。同時(shí)具有的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級(jí)。壓電定位臺(tái)采用無(wú)磁材質(zhì)，在使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)影響，體積小，結(jié)構(gòu)緊湊，非常易于集成。P13納米定位臺(tái)體積非常小巧，尺寸僅為35×35×36mm，非常易于集成到任何掃描儀器中。同時(shí)P13為超高精密納米定位系統(tǒng)，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描等應(yīng)用專門(mén)設(shè)計(jì)的，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)0.8ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高
2019
01-21

如何通過(guò)壓電偏轉(zhuǎn)鏡進(jìn)行畫(huà)圓、斜線操作
首先，科普一下，什么是壓電偏轉(zhuǎn)鏡?壓電偏轉(zhuǎn)鏡，又名壓電傾斜鏡、壓電精瞄鏡，它的內(nèi)部是由壓電陶瓷疊堆驅(qū)動(dòng)，它可以產(chǎn)生θx、θy兩個(gè)方向的同時(shí)偏轉(zhuǎn)，一般可達(dá)的偏轉(zhuǎn)行程為2度左右，同時(shí)也可產(chǎn)生Z向的升降運(yùn)動(dòng)，升降的位移一般為幾百微米。壓電偏轉(zhuǎn)鏡的特點(diǎn)是偏轉(zhuǎn)精度高，可達(dá)納弧度量級(jí)；響應(yīng)速度快，可達(dá)毫秒量級(jí)；體積小巧，易集成；性能不受磁、輻射等影響；可在超低溫下使用，且可表現(xiàn)的產(chǎn)品性能等。壓電偏轉(zhuǎn)鏡的負(fù)載一般為反射鏡片或透射鏡片。那么，壓電偏轉(zhuǎn)鏡的功能是什么呢？壓電偏轉(zhuǎn)鏡的負(fù)載一般為反射鏡片，反射鏡片即可
2019
01-14

壓電陶瓷懸臂梁式聲學(xué)系統(tǒng)應(yīng)用
懸臂梁式壓電陶瓷聲學(xué)系統(tǒng)是將手機(jī)聽(tīng)筒隱藏，當(dāng)通話接通時(shí)，驅(qū)動(dòng)單元輸出電信號(hào)到壓電陶瓷片，壓電陶瓷片產(chǎn)生高頻振動(dòng)傳導(dǎo)至懸臂梁上，進(jìn)而帶動(dòng)整機(jī)的中框共振，將聲音傳遞至耳朵。在整個(gè)聲學(xué)系統(tǒng)中，起著重要作用之一的元件為單層壓電陶瓷片，它的作用是將電能轉(zhuǎn)換成機(jī)械形變，從而產(chǎn)生高頻振動(dòng)。芯明天單層壓電陶瓷片芯明天單層壓電陶瓷（又常被稱作超聲陶瓷）為一體型壓電陶瓷，以其靜電容量低、高諧振頻率等特點(diǎn)廣泛應(yīng)用于超聲振動(dòng)。單層壓電陶瓷外觀及尺寸圓片外徑：4~185mm厚度：0.2~20mm方片長(zhǎng)或?qū)挘?~127mm
2019
01-14

壓電陶瓷的典型應(yīng)用案例
芯明天壓電陶瓷是以PZT鋯鈦酸鉛為材料的PZT壓電陶瓷，具有正壓電效應(yīng)及逆壓電效應(yīng)。芯明天壓電陶瓷的應(yīng)用可覆蓋半導(dǎo)體技術(shù)、光電子、通信、集成光學(xué)、生物科技、生命技術(shù)、精密加工、測(cè)量、激光技術(shù)、光學(xué)檢測(cè)、摩擦學(xué)、新藥設(shè)計(jì)、醫(yī)療技術(shù)、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)技術(shù)、天文、自適應(yīng)光學(xué)、納米技術(shù)、納米制造與納米自動(dòng)化、顯微與成像、航天、圖像處理、低溫與真空環(huán)境等。光束跟蹤自動(dòng)激光束定位跟蹤運(yùn)動(dòng)物體，在生物學(xué)應(yīng)用中，將激光束用于細(xì)胞刺激。需要實(shí)時(shí)控制激光束的位置以跟蹤細(xì)胞的運(yùn)動(dòng)，而由于熱效應(yīng)或外部振動(dòng)，很難實(shí)現(xiàn)將激光束保持
2019
01-07

壓電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)應(yīng)用衛(wèi)星平臺(tái)振動(dòng)補(bǔ)償
在空間光通信過(guò)程中，衛(wèi)星平臺(tái)的振動(dòng)會(huì)使信號(hào)光束傳輸方向發(fā)生抖動(dòng)，致使投射到探測(cè)器上的信號(hào)光斑發(fā)生偏移，信號(hào)探測(cè)器探測(cè)到的光功率過(guò)小或是*探測(cè)不到，從而增大誤碼率，甚至?xí)袛嗤ㄐ?。抑制光束抖?dòng)的有效方案是利用捕獲、跟蹤和瞄準(zhǔn)（ＡＴＰ）系統(tǒng)中的精跟蹤環(huán)進(jìn)行補(bǔ)償，壓電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)因其穩(wěn)定性好、能量耗損小、鏡面反射率高、偏轉(zhuǎn)分辨率高等特點(diǎn)執(zhí)行機(jī)構(gòu)芯明天壓電偏轉(zhuǎn)鏡芯明天研發(fā)生產(chǎn)的壓電偏轉(zhuǎn)鏡是由PZT壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)元件，內(nèi)部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，外部機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)通過(guò)內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現(xiàn)單軸或多
2019
01-07

壓電線夾全自動(dòng)引線鍵合機(jī)
隨著科技發(fā)展，電子產(chǎn)品以及工業(yè)制造電子設(shè)備行業(yè)都表現(xiàn)出體積越來(lái)越小的趨勢(shì)，因此，對(duì)全自動(dòng)引線鍵合機(jī)鍵合的速度和精度的要求也不斷升高。而引線線夾是引線鍵合設(shè)備中控制引線傳送的關(guān)鍵部件之一。影響線弧一致性的一個(gè)關(guān)鍵因素是線夾的運(yùn)動(dòng)速度和張合量大小，并且這也直接影響鍵合的質(zhì)量和效率。壓電線夾壓電陶瓷促動(dòng)器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、響應(yīng)速度快以及分辨率高等特點(diǎn)，由于壓電陶瓷的變形量較小，一般采用放大機(jī)構(gòu)式結(jié)構(gòu)，將壓電陶瓷的位移進(jìn)行適當(dāng)放大輸出。芯明天根據(jù)全自動(dòng)引線鍵合機(jī)的需求，設(shè)計(jì)一款壓電引線線夾，如下圖所示該款壓
2019
01-02

壓電陶瓷促動(dòng)器在醫(yī)療設(shè)備應(yīng)用優(yōu)勢(shì)
醫(yī)療設(shè)備制造行業(yè)正在不斷提高對(duì)設(shè)備精度的要求，需要達(dá)到微米甚至納米級(jí)的精度，同時(shí)設(shè)備也在朝著小型化、集成化的方向發(fā)展。這就需要高精度、高性能的壓電陶瓷促動(dòng)器作為技術(shù)支持。目前，壓電陶瓷促動(dòng)器已被廣泛用于一系列醫(yī)療應(yīng)用，如納升配藥、細(xì)胞穿透、細(xì)胞跟蹤、白光干涉診斷、超聲波霧化器等。芯明天壓電陶瓷促動(dòng)器以下為醫(yī)療設(shè)備中常用的壓電陶瓷促動(dòng)器：壓電疊堆陶瓷因其分辨率高、響應(yīng)速度快、體積小等特點(diǎn)是各醫(yī)療設(shè)備中常用的壓電陶瓷促動(dòng)器。封裝式壓電陶瓷促動(dòng)器因其小體積、高精度等特點(diǎn)主要應(yīng)用于藥物篩選快速定位等。壓
2019
01-02

機(jī)械封裝壓電陶瓷的介紹
機(jī)械封裝壓電陶瓷即為將壓電陶瓷疊堆進(jìn)行機(jī)械封裝，使其具有金屬外殼，并預(yù)加了預(yù)緊力，另外連接方式也發(fā)生改變。機(jī)械封裝壓電陶瓷的外殼對(duì)壓電陶瓷疊堆既起到保護(hù)作用，機(jī)械封裝壓電陶瓷的預(yù)緊力又使得壓電陶瓷疊堆的動(dòng)態(tài)性能更好，并且使其可承受一定的拉力，而壓電陶瓷疊堆是不能承受拉力的。機(jī)械封裝壓電陶瓷與壓電陶瓷疊堆的外觀如下圖所示。機(jī)械封裝壓電陶瓷的內(nèi)部結(jié)構(gòu)屬于直驅(qū)結(jié)構(gòu)，它既秉承了壓電陶瓷疊堆的高分辨率、高響應(yīng)速度、大出力等特點(diǎn)，又改善了壓電陶瓷疊堆的缺點(diǎn)。并且，閉環(huán)機(jī)械封裝壓電陶瓷又可消除壓電陶瓷疊堆的遲
2018
12-24

壓電陶瓷微進(jìn)給機(jī)構(gòu)應(yīng)用于超精密車削
超精密加工是一種精度*的綜合性的現(xiàn)代加工方法，其加工精度可達(dá)納米級(jí)，加工工件尺寸可達(dá)微米。超精密車削是其中一種非常重要的加工方式。而高精度微進(jìn)給機(jī)構(gòu)在超精密車削中起著舉足輕重的作用。傳統(tǒng)光學(xué)系統(tǒng)由球面元件組成，為消除像差制造非球面，而滿足光學(xué)基本理論的元件應(yīng)該是自由曲面，超精密車削方法是實(shí)現(xiàn)光學(xué)自由曲面納米加工的有效方式。利用壓電陶瓷微進(jìn)給機(jī)構(gòu)超精密制造技術(shù)，實(shí)現(xiàn)光學(xué)非球面、自由曲面、微結(jié)構(gòu)與其陣列的元件及模具納米級(jí)超精密加工。芯明天快速刀具定位臺(tái)在超精密車削中，實(shí)現(xiàn)刀具的微小位移是進(jìn)行超精密加
2018
12-24

升級(jí)版E70壓電控制器又小了！
升級(jí)版E70壓電控制器是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的3通道壓電陶瓷控制器，可用來(lái)驅(qū)動(dòng)壓電偏轉(zhuǎn)鏡、壓電納米定位臺(tái)、壓電掃描臺(tái)、壓電物鏡定位器等壓電微位移產(chǎn)品。該控制器采用運(yùn)放電路保證了高壓大電流的輸出能力，通過(guò)優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了PID調(diào)節(jié)與控制的度與穩(wěn)定性，可靠的抗干擾設(shè)計(jì)保證了控制器的高頻響應(yīng)速度?？刂破鞑捎肈C24V供電、集成數(shù)字與模擬控制功能、開(kāi)/閉環(huán)可選、RS-232/RS-422/USB通訊可選、集成式PZT&sensor迷你接口便于連接，外部可設(shè)定控制功能，
2018
12-17

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)超精密定位
近年來(lái)，隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，在半導(dǎo)體、精密測(cè)量、超精密加工和納米技術(shù)等領(lǐng)域?qū)Χㄎ痪扔兄絹?lái)越嚴(yán)苛的限制，這就需要高性能的超精密壓電定位臺(tái)作為技術(shù)。為了實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精密定位，需要高精度的驅(qū)動(dòng)方式和傳動(dòng)方式，使定位臺(tái)達(dá)到納米級(jí)的位移分辨率。芯明天壓電納米定位臺(tái)利用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)作為傳動(dòng)裝置構(gòu)成超精密定位系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精密定位。芯明天納米定位臺(tái)采用的是柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)的彈性形變。下圖是芯明天柔性鉸鏈在壓電機(jī)構(gòu)中的應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)高分辨率以及大位移行程。柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)緊湊且無(wú)摩擦，適合與

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