壓電平移臺,納米定位臺,壓電陶瓷控制器|驅(qū)動器,機械封裝壓電陶瓷技術(shù)文章|技術(shù)資料第（19）頁-哈爾濱芯明天科技有限公司

2019
09-21

芯明天數(shù)字式壓電控制器
芯明天數(shù)字式壓電控制器是指通過上位機軟件控制，具有功率放大功能，且輸出電壓、輸出頻率可調(diào)，用于驅(qū)動控制以壓電陶瓷為驅(qū)動源的壓電納米定位產(chǎn)品，如壓電促動器、壓電納米定位臺、壓電物鏡定位器、壓電偏轉(zhuǎn)鏡、壓電偏擺臺等。具有開環(huán)、閉環(huán)、單路、多路之分。以下為芯明天部分數(shù)字式壓電控制器介紹：E70系列集成式3通道壓電控制器E70是一款大功率、高帶寬的3通道壓電控制器，優(yōu)化傳感伺服模塊提高了PI調(diào)節(jié)與控制的度與穩(wěn)定性，通過上位機軟件控制，同時上位機軟件支持二次開發(fā)，方便快捷。RS-232/RS-422/US
2019
09-16

壓電物鏡位移臺用于掃描顯微成像！
壓電物鏡位移臺是專為驅(qū)動物鏡頭進行納米級快速步進、掃描而設(shè)計的，它與壓電納米定位臺、壓電平臺具有相同的原理，與之不同之處是具有專門針對物鏡頭的特殊螺紋適配接口，非常便于物鏡頭的連接與固定。從上圖中可看出，在外觀上，壓電平臺與壓電物鏡位移臺顯著不同。以芯明天P76壓電物鏡位移臺為例，它的外形類似中空的圓柱形，結(jié)構(gòu)內(nèi)部采用對稱式的驅(qū)動機構(gòu)，在內(nèi)側(cè)中空位置固定物鏡頭，且物鏡螺紋適配器可根據(jù)客戶要求選擇或定制。芯明天P76壓電物鏡位移臺P76壓電物鏡位移臺的行程為100μm（1μm是一百萬分之一米），它
2019
09-16

壓電材料的原理
壓電材料是受到壓力作用時會在兩端面間出現(xiàn)電壓的晶體材料。利用壓電材料的這些特性可實現(xiàn)機械振動（聲波）和交流電的互相轉(zhuǎn)換。因而壓電材料廣泛用于傳感器元件中，例如地震傳感器，力、速度和加速度的測量元件以及電聲傳感器等。這類材料被廣泛運用，舉一個很生活化的例子，打火機的火花即運用此技術(shù)。壓電材料的原理壓電現(xiàn)象是100多年前居里兄弟研究石英時發(fā)現(xiàn)的。那么，什么是壓電效應(yīng)呢？當(dāng)你在點燃煤氣灶或熱水器時,就有一種壓電陶瓷已悄悄地為你服務(wù)了一次。生產(chǎn)廠家在這類壓電點火裝置內(nèi)，藏著一塊壓電陶瓷，當(dāng)用戶按下點火裝
2019
09-16

壓電掃描臺應(yīng)用于納米壓印
納米壓印是一種全新的納米圖形復(fù)制方法，實質(zhì)是將傳統(tǒng)的模具復(fù)型原理應(yīng)用到微觀制造領(lǐng)域。它是通過將刻有目標圖形的母版壓印到相應(yīng)的襯底（通常是一層很薄的聚合材料）上實現(xiàn)圖形轉(zhuǎn)移，以完成微納米加工的光刻步驟。納米壓印技術(shù)是制作納米結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵，具有廣闊的應(yīng)用前景。利用芯明天P18.XY300二維掃描臺，可帶動鍍膜鏡片在0~300μm的平面內(nèi)對讀取的圖像信息進行優(yōu)化，同時控制激光器及掃描臺，二者配合完成圖像的納米精度加工。下圖為通過芯明天運動控制軟件操作二維壓電掃描臺，激光光刻的100μm×100μm圖標。
2019
09-11

分析一下壓電式傳感器的等效電路和參數(shù)
等效電路1、電容效應(yīng)等效原理1）壓電式傳感器結(jié)構(gòu)在壓電晶片的兩個工作面上進行金屬蒸鍍，形成金屬膜，構(gòu)成兩個電極。2、等效電容量當(dāng)壓電傳感器受到沿其敏感軸向的外力作用時，就在兩電極上產(chǎn)生極性相反的電荷，因此它相當(dāng)于一個電荷源（靜電發(fā)生器）。由于壓電晶體是絕緣體，當(dāng)它的兩極表面聚集電荷時，它又相當(dāng)于一個電容器，其電容量為沿x軸方向加力產(chǎn)生縱向壓電效應(yīng),沿y軸加力產(chǎn)生橫向壓電效應(yīng),沿相對兩平面加力產(chǎn)生切向壓電效應(yīng)。3、等效電壓當(dāng)壓電晶體受外力作用時，兩表面產(chǎn)生等量的正、負電荷Q，可求出其開路電壓（負載
2019
09-05

芯明天壓電納米定位臺特點
驅(qū)動元件芯明天壓電納米定位臺內(nèi)部采用壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，主要利用壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)，通過對壓電陶瓷施加電場，產(chǎn)生納米級精度的致動位移。壓電陶瓷具有優(yōu)異性能及超長使用壽命，多種尺寸及位移集成到納米定位系統(tǒng)中滿足不同應(yīng)用的需求。壓電陶瓷內(nèi)部結(jié)構(gòu)柔性鉸鏈機構(gòu)結(jié)構(gòu)緊湊且無摩擦，適合與壓電陶瓷組成分辨率高，頻響高的超高精度納米定位臺。同時柔性鉸鏈機構(gòu)還可以提供適當(dāng)?shù)念A(yù)緊，避免壓電陶瓷承受拉力，提高壓電納米定位臺的使用壽命。柔性鉸鏈運動自由度芯明天壓電納米定位臺可以實現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ
2019
09-05

壓電陶瓷促動器|100M22外螺紋式壓電促動器
M22系列壓電陶瓷促動器是由芯明天公司生產(chǎn)的一款直線運動型壓電位移致動器，它的特點是在殼體外具有尺寸為M22的固定用螺紋，且配有相應(yīng)的六角鎖緊螺母，利于固定，同時可提高剛度。100M22壓電陶瓷促動器，100代表它的直線位移范圍。100M22促動器的出力可達4700N，詳細參數(shù)如下。型號：100M22完整型號：FPSt150/7/100M22標稱行程：95μm剛度：40N/μm推/拉力：4700/700N靜電容量：39μF諧振頻率：10kHz長度：113mm電壓與位移曲線外螺紋式壓電促動器為開環(huán)
2019
09-04

壓電材料在智能材料系統(tǒng)中的應(yīng)用
壓電材料在智能材料系統(tǒng)中的應(yīng)用（1）驅(qū)動器方面的應(yīng)用。這個方向更多的研究集中在主動控制上，智能材料系統(tǒng)中成熟的應(yīng)用領(lǐng)域大概就是對振動和噪聲的主動控制。它是指采用智能控制方法有選擇地控制輻射振動模。因為并不是所有的振動模都輻射“具有危險性”的聲波，減少系統(tǒng)的質(zhì)量和功耗也同樣是必須考慮的因素。因而好的辦法是“感覺”輻射“具有危險性”的輻射波振動模，并使用分布在整個結(jié)構(gòu)中的驅(qū)動器（壓電材料或電致流變體）對產(chǎn)生的該振動模進行控制。即利用壓電陶瓷傳感和驅(qū)動作用相結(jié)合，實現(xiàn)壓電陶瓷的動態(tài)柔度系數(shù)可調(diào)。利用這
2019
09-02

激光穩(wěn)定系統(tǒng)
上圖中為芯明天公司搭建的一款激光穩(wěn)定系統(tǒng)，我們可提供該系統(tǒng)的整套部件，且可根據(jù)用戶實驗具體要求更換結(jié)構(gòu)原理、光路徑、部件型號參數(shù)等，用戶只需提供詳細要求，我們可為您設(shè)計整套方案。部件介紹：1：激光器，點光源；2：P33.T2K壓電偏轉(zhuǎn)鏡，由E70壓電控制器驅(qū)動，產(chǎn)生θxθy二維干擾偏轉(zhuǎn)運動，行程3mrad；3，P33.T2K壓電偏轉(zhuǎn)鏡，由E70壓電控制器驅(qū)動，產(chǎn)生θxθy二維補償偏轉(zhuǎn)運動，行程3mrad；4，P33.T2K壓電偏轉(zhuǎn)鏡，由E70壓電控制器驅(qū)動，產(chǎn)生θxθy二維補償偏轉(zhuǎn)運動，行程3m
2019
08-30

壓電平臺內(nèi)置傳感器類型對比
SGS電阻式傳感器是通過SGS電阻應(yīng)變計發(fā)生形變后電阻發(fā)生的變化來檢測位移。彌補和解決修正壓電元件在伸長與縮短的過程中的遲滯與蠕變。電容式位移傳感器電容式位移傳感器由兩個平行電極板組成，兩極板分別安裝在測量端與測量目標上，兩極板之間電容的變化轉(zhuǎn)換成位移。該傳感器具有高分辨率，高再現(xiàn)性和高穩(wěn)定性的特點。彌補和解決當(dāng)傳感器探頭和測量目標之間的距離為一定距離時，傳感器輸出為零。距離稱為“偏移”。根據(jù)偏移距離設(shè)置測量范圍。偏移通常相當(dāng)于測量范圍的5?10％，可以選擇的測量范圍根據(jù)測量探頭的外徑而有所不同
2019
08-26

壓電微動平臺控制器E00/E01的鍵盤操作說明！
壓電陶瓷控制器是用來驅(qū)動控制壓電陶瓷以及納米定位臺等產(chǎn)品的儀器，根據(jù)結(jié)構(gòu)形式主要分為模塊化式、集成式、工業(yè)式、板卡式控制器產(chǎn)品。模擬、數(shù)字、鍵盤、I/O等多種控制方式。開環(huán)、閉環(huán)、單路、多路多種型號可選?？沈?qū)動芯明天及進口各類壓電產(chǎn)品。E00/E01壓電控制器開啟電源開關(guān)后，界面出現(xiàn)歡迎界面后，顯示“主菜單”，如圖所示，具有“控制方式”、“本機信息”、“關(guān)于本機”三個選項，我們主要對控制方式進行介紹。在“控制方式”頁面，通過上下鍵將光標（白色背景）移動到“鍵盤控制”，按“確認”鍵進入該界面。按“
2019
08-26

壓電物鏡定位器結(jié)合二維壓電掃描臺用于光學(xué)顯微成像
光學(xué)顯微成像是指透過樣品或從樣品反射回來的可見光，通過一個或多個透鏡后得到微小樣品的放大圖像的技術(shù)。壓電物鏡定位器可帶動物鏡頭做Z向超精密運動，XY二維壓電掃描臺帶動樣品實現(xiàn)高精度的二維平臺位移運動，可使觀測精度達納米級。光學(xué)顯微成像原理壓電物鏡定位器壓電物鏡定位器芯明天壓電物鏡定位器是為物鏡聚焦顯微而設(shè)計的Z軸運動壓電物鏡定位器，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機構(gòu)設(shè)計，無摩擦，物鏡補償量小，具有超高聚焦穩(wěn)定性。聚焦范圍可達500μm，負載可達500g。分立式螺紋設(shè)計，可適配多種型號的物鏡，也可選擇
2019
08-19

壓電納米定位臺遲滯蠕變補償方法
精密定位技術(shù)已被廣泛應(yīng)用于精密制造、掃描顯微、半導(dǎo)體等領(lǐng)域，并在定位精度、分辨率、響應(yīng)速度等方面提出了更高的要求。壓電納米定位臺以壓電陶瓷作為驅(qū)動源，采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，具有定位精度高、剛度大、響應(yīng)速度快、分辨率高等特點，現(xiàn)已成為精密定位技術(shù)的核心器件。但由于壓電陶瓷本身的遲滯、蠕變特性嚴重影響了其定位系統(tǒng)的精度和穩(wěn)定性。遲滯特性壓電陶瓷升壓曲線和降壓曲線之間存在位移差。在同一個電壓值下，上升曲線和下降曲線上的位移值有明顯的位移差，且這個位移差會隨著電壓變化范圍的改變而改變，驅(qū)動電壓越小
2019
08-19

定制壓電偏轉(zhuǎn)鏡|一維θx或二維θxθy運動擺鏡
壓電偏轉(zhuǎn)鏡是光學(xué)路徑調(diào)整中的重要部件，它決定著光學(xué)調(diào)整應(yīng)用中的精度、速度，多用于通信、成像、加工等目的，起著至關(guān)重要的作用。標準式的壓電偏轉(zhuǎn)鏡有著固定的安裝結(jié)構(gòu)、尺寸、偏轉(zhuǎn)范圍、精度等，也具有很多型號，比如芯明天公司的P33系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡，它的運動方向可選一維θx或二維θx、θy，偏轉(zhuǎn)范圍2.5mrad至12.5mrad可選，分辨率可高達0.01秒，空載諧頻3.1kHz至3.7kHz，并且安裝方式也分為底部固定和腰部方邊固定。芯明天P33系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡雖然標準品的種類已很繁多，但針對各種應(yīng)用要求
2019
08-12

壓電偏擺臺的設(shè)計與性能測試
在激光通信、光束穩(wěn)定、目標跟蹤、激光掃描等領(lǐng)域，通常需要其中的光機電系統(tǒng)具有響應(yīng)速度快、分辨率高等特點，而壓電偏擺臺作為光機電系統(tǒng)中一類重要部件，其具備的響應(yīng)速度快、定位分辨率高、出力大、無機械摩擦、抗干擾等特點，在高精度定位系統(tǒng)中得到廣泛的應(yīng)用。壓電偏擺臺的輸出運動一方面是利用其內(nèi)部使用的高性能壓電陶瓷，另一方面是利用柔性鉸鏈機構(gòu)的機械運動形變。芯明天壓電陶瓷具有優(yōu)異性能及超長使用壽命，多種尺寸及位移集成到高精度定位系統(tǒng)中可滿足不同應(yīng)用的需求。柔性鉸鏈機構(gòu)結(jié)構(gòu)緊湊且無摩擦，適合與壓電陶瓷組成分
2019
08-12

壓電陶瓷促動器200VS25|PSt150/20/200VS25
壓電陶瓷促動器200VS25的完整型號為PSt150/20/200VS25，它的直線行程范圍達190µm，可承受的推/拉力分別為7300N、1000N，它的詳細參數(shù)如下。技術(shù)參數(shù)型號：PSt150/20/200VS25標稱行程：190µm（0~150V）剛度：40N/µm推/拉力：7300/1000N靜電容量：145µF諧振頻率：3kHz長度：199mm驅(qū)動電壓：0~150V關(guān)于型號PSt150/20/200VS25壓電陶瓷促動器的外徑尺寸為25mm，型號結(jié)尾包含的VS25就是代表它的外徑尺寸，
2019
08-05

壓電陶瓷驅(qū)動微位移定位系統(tǒng)
在精密加工、微電子、生物工程、醫(yī)療科學(xué)等各個領(lǐng)域，微位移定位技術(shù)都得到了廣泛的應(yīng)用。如用于電化學(xué)加工、微雕刻；用于微機電系統(tǒng)的加工與裝配；在掃描探針顯微鏡中，用于測量樣品表面形貌等等。這些領(lǐng)域的發(fā)展對微位移定位技術(shù)提出了高分辨率、高精度、高頻響等要求。芯明天微位移定位系統(tǒng)采用直驅(qū)或機構(gòu)放大設(shè)計原理，內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷作為驅(qū)動源，無摩擦無空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)支撐傳動，使其具有分辨率高、響應(yīng)速度快、無機械摩擦、不受磁場干擾等特點，在上述等領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用。芯明天壓電疊堆陶瓷具有優(yōu)異性能
2019
07-29

壓電陶瓷材料和幾種新的應(yīng)用介紹
下面介紹幾種處于發(fā)展中的壓電陶瓷材料和幾種新的應(yīng)用：1、細晶粒壓電陶瓷以往的壓電陶瓷是由幾微米至幾十微米的多疇晶粒組成的多晶材料，尺寸已不能滿足需要了。減小粒徑至亞微米級，可以改進材料的加工性，可將基片做地更薄，可提高陣列頻率，降低換能器陣列的損耗，提高器件的機械強度，減小多層器件每層的厚度，從而降低驅(qū)動電壓，這對提高疊層變壓器、制動器都是有益的。減小粒徑有上述如此多的好處，但同時也帶來了降低壓電效應(yīng)的影響。為了克服這種影響，人們更改了傳統(tǒng)的摻雜工藝，使細晶粒壓電陶瓷壓電效應(yīng)增加到與粗晶粒壓電陶
2019
07-27

壓電平臺控制器E70.D4S|新品推薦
壓電平臺控制器E70.D4S具有四個輸出通道，可同時驅(qū)動四個壓電平臺，它的標準輸出電壓為0~120V或150V。E70.D4S四通道閉環(huán)壓電平臺控制器具有多種控制方式，如模擬控制、上位機控制。E70.D4S具有多種通信接口實現(xiàn)與上位機實時通信，通過上位機通信軟件可設(shè)置電壓與位移等參數(shù)，并支持上位機軟件二次開發(fā)。壓電平臺控制器E70.D4S具有四個模擬信號的位置控制輸入端口，便于與其他模擬控制信號集成。操作模式的變換也可通過外部接口進行控制?？蓱?yīng)用在傾斜、俯仰、偏擺/差分驅(qū)動等高可靠系統(tǒng)領(lǐng)域中。壓
2019
07-27

壓電平臺-N12系列
N12系列壓電掃描臺為1~3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心方形通孔，內(nèi)部采用無摩擦的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化結(jié)構(gòu)，具有超高的導(dǎo)向精度、高剛性、大負載、無磨損等特點，平臺內(nèi)可選擇配置高性能傳感器進行全閉環(huán)反饋，實現(xiàn)滿行程0.04%的重復(fù)定位精度。特點?位移110μm?承載能力0.7kg?臺體中心方形通孔45×45mm?閉環(huán)重復(fù)定位精度高?開/閉環(huán)可選1~3維掃描臺N12系列壓電掃描臺包含X、Z、XY、XZ、XYZ五種規(guī)格型號,外觀相同。典型應(yīng)用?掃描顯微?共焦顯微?晶圓定位?表面測量

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