DHPS系列直流濺射等離子體實(shí)驗(yàn)裝置
裝置采用同軸二極濺射結(jié)構(gòu),靶臺和靶距離可調(diào)節(jié),濺射基片可進(jìn)行控溫加熱;
濺射氣壓、濺射氣源流量可調(diào)節(jié),可研究不同氣壓、氣源流量對薄膜濺射的影響
;反應(yīng)腔體采用石英玻璃管,可直觀地觀察到濺射現(xiàn)象;工作氣體可調(diào)節(jié)更換,
并可多路氣體混合工作??梢酝瓿晒鈱W(xué)薄膜材料的制備及其光學(xué)特性的測量、金
屬薄膜的制備等實(shí)驗(yàn)。
主要實(shí)驗(yàn)內(nèi)容:
◆光學(xué)薄膜材料的制備及其光學(xué)特性的測量;
◆金屬薄膜的制備實(shí)驗(yàn);ZHG-1600電動執(zhí)行器ZSKQ-5100,DHPS系列直流濺射等離子體實(shí)驗(yàn)裝置
◆理解直流濺射原理,掌握直流濺射薄膜材料的工藝方法。
主要技術(shù)特點(diǎn):ZHG-1600電動執(zhí)行器ZSKQ-5100,DHPS系列直流濺射等離子體實(shí)驗(yàn)裝置
◆濺射靶臺和濺射靶距離可調(diào)節(jié),研究在不同距離時對薄膜濺射的影響;
◆濺射基片可進(jìn)行加熱,加熱溫度可控,研究基片溫度對薄膜濺射的影響;
◆濺射氣壓、濺射氣源流量可調(diào)節(jié),研究不同氣壓、氣源流量對薄膜濺射的影響
◆反應(yīng)腔體采用石英玻璃管,可直觀地觀察到濺射現(xiàn)象;
◆供電電源:AC 220V,50 Hz。高斯計(jì)特斯拉計(jì)
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