產(chǎn)品概述：MF4000系列帶數(shù)顯；FS4000系列不帶數(shù)顯
FS4000是采用世界先的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù)，專為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測量氣體質(zhì)量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）
產(chǎn)品概述：MF4000系列帶數(shù)顯；FS4000系列不帶數(shù)顯
FS4000是采用世界先的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù)，專為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測量氣體質(zhì)量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）
FS4003流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測量范圍Z大到5SLPM；適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。
FS4008流量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm，測量范圍Z大到50SLPM；可用于麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等
產(chǎn)品特點:
-專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而
設(shè)計
-支持多種連接方式，易于安裝與使用
-傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
-在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
-輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
-零點穩(wěn)定度高
-全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
-低功耗、低壓損
-響應(yīng)速度快
機械尺寸:
產(chǎn)品特點:
性能參數(shù)
FS4003
FS4008
單位
通徑
3
8
mm
Z大流量
2, 3, 4, 5
10, 20, 30, 40, 50
SLPM
量程比
≥100:1
精度
±(1.5+0.2FS)
%
重復(fù)性
0.25
%
零點輸出飄移
±30
mV
輸出飄移
±0.12
%/℃
響應(yīng)時間
10（默認，50，100，200，500，1000可設(shè)置）
msec
工作電源
8~18Vdc,50mA
輸出方式
線性，RS232/RS485,模擬電壓0.5~4.5Vdc
Z大流量壓損
100
600
Pa
Z大工作壓力
0.5
MPa
工作溫度
-10 ~ + 55
℃
存儲溫度
-20 ~ + 65
℃
工作濕度
<95%RH（無結(jié)冰、無凝露）
機械接口
BSPT1/4（R1/4）,4mm/6mm/8mm快速接頭
校準方式
空氣（或其他氣體），20℃，101.325kPa
重量
57（帶R1/4,BSPT1/4接口） 71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭)
g
- MF4003-2-R-BV-A
- MF4003-5-R-BV-A
- MF4008-10-R-BV
- MF4008-50-R-BV
- FS4003-2-R-BV-A
- FS4003-5-R-BV-A
- FS4008-10-R-BV
- FS4008-50-R-CV
- FS4001-1000-CVA
