SU8010—日立新型高分辨場發(fā)射掃描電鏡SU8000系列
產(chǎn)品介紹：
日立2005年在中國推出了S-4800型高分辨場發(fā)射掃描電鏡，由于出色的應(yīng)用性能、良好的穩(wěn)定性和簡易的維護(hù)，收到了各界用戶的*好評。
日立2011年新推出了它的后續(xù)機(jī)型----SU8010，它繼承了S-4800的優(yōu)點(diǎn)，性能有進(jìn)一步提高，1kv使用減速功能后，分辨率提升到1.3nm，相對于S-4800可以在更
二次電子分辨率 | 1.0nm（加速電壓15kV、WD＝4mm） | |
| 1.3nm（加速電壓1kV、WD＝1.5mm） | ||
| 加速電壓 | 0.1～30kV | |
| 觀測倍率 | 20～8000,000(底片輸出) | |
| 60～2,000,000（顯示器輸出） | ||
| 樣品臺 | ||
| 馬達(dá)驅(qū)動 | 3軸馬達(dá) | |
| 5軸（選配） | ||
| 行程 | X | 0～50mm |
| Y | 0～50mm | |
| Z | 360° | |
| T | -5～70° | |
| R | 1.5～30mm | |
| zui大裝載尺寸 | 100mm（zui大） | |
| 150mm（選配） | ||
| 探頭 | ||
| 標(biāo)配 | Lower | 高立體感圖像 |
| Upper | 高分辨SE、BSE圖像 | |
| 選配 | STEM | 明場像、暗場像 |
| YAG 探頭 | BSE圖像 | |
| 半導(dǎo)體探頭 | BSE圖像 | |
| EBIC | 電子束感生電流圖像 | |
| EDS | 元素分析 | |
| 反污染措施 | ||
| 冷指 | 標(biāo)配 | |
| 物鏡光闌 | 內(nèi)置自清潔功能 | |
| 電子槍 | 內(nèi)置加熱器 | |
| 真空系統(tǒng) | ||
| 離子泵 | 3臺 | |
| 分子泵 | 1臺 | |
| 機(jī)械泵 | 1臺 | |
