CMI900/950系列X射線熒光測(cè)厚儀是一種功能強(qiáng)大的材料涂/鍍層測(cè)量儀器，可應(yīng)用于材料的涂/鍍層厚度、材料組成、貴金屬含量檢測(cè)等領(lǐng)域，為產(chǎn)品質(zhì)量控制提供準(zhǔn)確、快速的分析。基于Windows2000中文視窗系統(tǒng)的中文版SmartLink FP應(yīng)用軟件包，實(shí)現(xiàn)了對(duì)CMI900/950主機(jī)的全面自動(dòng)化控制，分析中不需要任何手動(dòng)調(diào)整或手動(dòng)參數(shù)設(shè)定?？赏瑫r(shí)測(cè)定zui多5層、15種元素。數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)報(bào)告功能允許用戶自定義多媒體分析報(bào)告格式，以滿足您特定的分析報(bào)告格式要求；如在分析報(bào)告中插入數(shù)據(jù)圖表、測(cè)定位置的圖象、CAD文件等。統(tǒng)計(jì)功能提供數(shù)據(jù)平均值、誤差分析、zui大值、zui小值、數(shù)據(jù)變動(dòng)范圍、相對(duì)偏差、UCL(控制上限)、LCL(控制下限)、CpK圖、直方圖、X-bar/R圖等多種數(shù)據(jù)分析模式。
CMI900/950系列X射線熒光測(cè)厚儀能夠測(cè)量多種幾何形狀、各種尺寸的樣品；并且測(cè)量點(diǎn)zui小可達(dá)0.025 x 0.051毫米。
CMI900系列采用開槽式樣品室，以方便對(duì)大面積線路板樣品的測(cè)量。它可提供五種規(guī)格的樣品臺(tái)供用戶選用，分別為：
標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)：XY軸手動(dòng)控制、Z軸自動(dòng)控制。
擴(kuò)展型標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)：XY軸手動(dòng)控制、Z軸自動(dòng)控制。
可調(diào)高度型標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)：XY軸手動(dòng)控制、Z軸自動(dòng)控制。
程控樣品臺(tái)：XYZ軸自動(dòng)控制。
超寬程控樣品臺(tái)：XYZ軸自動(dòng)控制。
CMI950系列采用開閉式樣品室，以方便測(cè)定各種形狀、各種規(guī)格的樣品。同樣，CMI950可提供四種規(guī)格的樣品臺(tái)供用戶選用，分別為：
全程控樣品臺(tái)：XYZ三軸程序控制樣品臺(tái)，可接納的樣品zui大高度為150mm，XY軸程控移動(dòng)范圍為300mm x 300mm。此樣品臺(tái)可實(shí)現(xiàn)測(cè)定點(diǎn)自動(dòng)編程控制。
Z軸程控樣品臺(tái)：XY軸手動(dòng)控制，Z軸自動(dòng)控制，可接納的樣品zui大高度為270mm。
全手動(dòng)樣品臺(tái)：XYZ三軸手動(dòng)控制，可接納的樣品zui大高度為356mm。
可擴(kuò)展式樣品臺(tái)用于接納超大尺寸樣品。
CMI900/950主要技術(shù)規(guī)格如下：
No. 主要規(guī)格 規(guī)格描述
1 X射線激發(fā)系統(tǒng) 垂直上照式X射線光學(xué)系統(tǒng)
空冷式微聚焦型X射線管，Be窗
標(biāo)準(zhǔn)靶材：Rh靶；任選靶材：W、Mo、Ag等
功率：50W(4-50kV，0-1.0mA)－標(biāo)準(zhǔn)
75W(4-50kV，0-1.5mA)－任選
X射線管功率可編程控制
裝備有安全防射線光閘
2 濾光片程控交換系統(tǒng) 根據(jù)靶材，標(biāo)準(zhǔn)裝備有相應(yīng)的一次X射線濾光片系統(tǒng)
二次X射線濾光片：3個(gè)位置程控交換，Co、Ni、Fe、V等多種材質(zhì)、多種厚度的二次濾光片任選
位置傳感器保護(hù)裝置，防止樣品碰創(chuàng)探測(cè)器窗口
3 準(zhǔn)直器程控交換系統(tǒng) zui多可同時(shí)裝配6種規(guī)格的準(zhǔn)直器，程序交換控制
多種規(guī)格尺寸準(zhǔn)直器任選：
－圓形，如4、6、8、12、20 mil等
－矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等
4 測(cè)量斑點(diǎn)尺寸 在12.7mm聚焦距離時(shí)，zui小測(cè)量斑點(diǎn)尺寸為：0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm準(zhǔn)直器)
在12.7mm聚焦距離時(shí)，zui大測(cè)量斑點(diǎn)尺寸為：0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm準(zhǔn)直器)
5 X射線探測(cè)系統(tǒng) 封氣正比計(jì)數(shù)器
裝備有峰漂移自動(dòng)校正功能的高速信號(hào)處理電路
6 樣品室 CMI900 CMI950
－樣品室結(jié)構(gòu) 開槽式樣品室 開閉式樣品室
－zui大樣品臺(tái)尺寸 610mm x 610mm 300mm x 300mm
－XY軸程控移動(dòng)范圍 標(biāo)準(zhǔn)：152.4 x 177.8mm
任選：50.8mm x 152.4mm
50.4mm x 177.8mm
101.6 x 177.8mm
177.8 x 177.8mm
610mm x 610mm 300mm x 300mm
－Z軸程控移動(dòng)高度 43.18mm XYZ程控時(shí)，152.4mm
XY軸手動(dòng)時(shí)，269.2mm
－XYZ三軸控制方式 多種控制方式任選：XYZ三軸程序控制、XY軸手動(dòng)控制和Z軸程序控制、XYZ三軸手動(dòng)控制
－樣品觀察系統(tǒng) 高分辨、彩色、實(shí)時(shí)CCD觀察系統(tǒng)，標(biāo)準(zhǔn)放大倍數(shù)為30倍。50倍和100倍觀察系統(tǒng)任選。
激光輔助光自動(dòng)對(duì)焦功能
可變焦距控制功能和固定焦距控制功能
7 計(jì)算機(jī)系統(tǒng)配置 IBM計(jì)算機(jī)：1.6G奔騰IV處理器，256M內(nèi)存，1.44M軟驅(qū)，40G硬盤，CD-ROM，鼠標(biāo)，鍵盤，17寸彩顯，56K調(diào)制解調(diào)器。惠普或愛普生彩色噴墨打印機(jī)。
8 分析應(yīng)用軟件 操作系統(tǒng)：Windows2000中文平臺(tái)
中文分析軟件包：SmartLink FP軟件包
－測(cè)厚范圍 可測(cè)定厚度范圍：取決于您的具體應(yīng)用。請(qǐng)告訴牛津儀器您的具體應(yīng)用，我們將列表可測(cè)定的厚度范圍
－基本分析功能 無標(biāo)樣檢量線測(cè)厚，可采用一點(diǎn)或多點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)樣品自動(dòng)進(jìn)行基本參數(shù)方法校正。牛津儀器將根據(jù)您的應(yīng)用提供必要的校正用標(biāo)準(zhǔn)樣品。
樣品種類：鍍層、涂層、薄膜、液體(鍍液中的元素含量)
可檢測(cè)元素范圍：Ti22 – U92
可同時(shí)測(cè)定5層/15種元素/共存元素校正
組成分析時(shí)，可同時(shí)測(cè)定15種元素
多達(dá)4個(gè)樣品的光譜同時(shí)顯示和比較
元素光譜定性分析
－調(diào)整和校正功能 系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整和校正功能：校正X射線管、探測(cè)器和電子線路的變化對(duì)分析結(jié)果的影響，自動(dòng)消除系統(tǒng)漂移
譜峰計(jì)數(shù)時(shí)，峰漂移自動(dòng)校正功能
譜峰死時(shí)間自動(dòng)校正功能
譜峰脈沖堆積自動(dòng)剔除功能
標(biāo)準(zhǔn)樣品和實(shí)測(cè)樣品間，密度校正功能
譜峰重疊剝離和峰形擬合計(jì)算
－測(cè)量自動(dòng)化功能
(要求XY程控機(jī)構(gòu)) 鼠標(biāo)激活測(cè)量模式：“Point and Shoot”
多點(diǎn)自動(dòng)測(cè)量模式：隨機(jī)模式、線性模式、梯度模式、掃描模式、和重復(fù)測(cè)量模式
測(cè)量位置預(yù)覽功能
激光對(duì)焦和自動(dòng)對(duì)焦功能
－樣品臺(tái)程控功能
(要求XY程控機(jī)構(gòu)) 設(shè)定測(cè)量點(diǎn)
One or Two Datumn (reference) Points on each file
測(cè)量位置預(yù)覽(圖表顯示)
－統(tǒng)計(jì)計(jì)算功能 平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差、zui大值、zui小值、數(shù)據(jù)變動(dòng)范圍、數(shù)據(jù)編號(hào)、CP、CPK、控制上限圖、控制下限圖
數(shù)據(jù)分組、X-bar/R圖表
直方圖
數(shù)據(jù)庫存儲(chǔ)功能
－系統(tǒng)安全監(jiān)測(cè)功能 Z軸保護(hù)傳感器
樣品室門開閉傳感器
操作系統(tǒng)多級(jí)密碼操作系統(tǒng)：操作員、分析員、工程師
－任選軟件 統(tǒng)計(jì)報(bào)告編輯器允許用戶自定義多媒體報(bào)告書
液體樣品分析，如鍍液中的金屬元素含量
材料鑒別和分類檢測(cè)
材料和合金元素分析
貴金屬檢測(cè)，如Au karat評(píng)價(jià)
