高溫超導(dǎo)薄膜的單晶基片LaAlO3
鋁酸鑭(LaAlO3)單晶是當(dāng)前zui重要的工業(yè)化、大尺寸高溫超導(dǎo)薄膜基片單晶材料。它用提拉法生長,可以得到直徑2英吋及更大的單晶和基片。它與YBaCuO等高溫超導(dǎo)材料和晶格匹配好,介電常數(shù)較低,微波損耗小,因而適于制作高溫超導(dǎo)微波電子器件(如遠(yuǎn)程通訊中的高溫超導(dǎo)微波濾波器等)。有巨大的現(xiàn)實(shí)及潛在的應(yīng)用前景。
晶體主要參數(shù):
晶系 | 贗立方晶系 黃銅礦Pm3m |
晶格常數(shù)( ) | a=3.790 |
熔點(diǎn)(℃) | 2100 |
密度(g/cm3) | 6.50 |
比熱(cal/g℃) | |
莫氏硬度 | 6-6.5 |
熱膨脹系數(shù)(/℃) | 9.4x10-6 |
介電常數(shù) | εr= 21 |
特點(diǎn) | 適于微波電子器件 |
生長方法 | 提拉法 |
基片規(guī)格:
尺寸: | 10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20, |
Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″,Ф2.6″ | |
厚度: | 0.5mm,1.0mm |
表面拋光: | 單面或雙面 |
取向: | <100> <110> <111> |
晶面定向精度: | ±0.5° |
邊緣定向精度: | 2°(特殊要求可達(dá)1°以內(nèi)) |
斜切晶片: | 可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片 |
Ra: | ≤5?(5μm×5μm) |
高溫超導(dǎo)薄膜的單晶基片LaAlO3