美國MKS真空計(jì) MKS 999系列多探頭全量程真空計(jì)
999 quattro系列的™是zui終的傳感器解決方案,結(jié)合熱陰極技術(shù)。999系列提供了從10-10乇大氣壓力測(cè)量,結(jié)合大氣交換能力,并結(jié)合的關(guān)鍵技術(shù)成一個(gè)完整的表的解決方案。它在一個(gè)緊湊的四個(gè)傳感器的功能 quattro包括微型熱陰極電離傳感器,基于MEMS的micropirani™傳感器和一個(gè)*的壓電傳感器,提供差分和傳感器功能。
美國MKS真空計(jì) MKS 999系列多探頭全量程真空計(jì)優(yōu)勢(shì):
•單傳感器提供了一個(gè)廣闊的10-10 Torr to測(cè)量范圍10-10乇高真空環(huán)境過程
• Accurate atmospheric pressure reading
•精確的大氣壓力讀數(shù)獨(dú)立的氣體的類型和氣壓壓力的變化
• Gas independent absolute measurement
•氣體獨(dú)立的測(cè)量從50乇大氣(1%的讀數(shù)高于50乇)
• 4-in-1 sensor eliminates complex
•四合一傳感器消除了復(fù)雜的流形,布線和控制要求
• Both analog and digital operation and
•模擬和數(shù)字兩種操作通信
• Piezo and MicroPirani sensors are
•壓和micropirani傳感器在操作過程中自動(dòng)校準(zhǔn)
• MicroPirani technology allows for hot
•micropirani技術(shù)允許熱在較低的陰極燈絲控制改進(jìn)燈絲生活壓力
• Two yttria-coated iridium filaments,
•兩釔涂層的銥絲,專為延長(zhǎng)壽命
• Includes a patented degas function
•包括脫氣功能
• Mountable in any orientation for easy
•安裝在任何方向容易安裝
• Single selectable analog output (0.5 or
•單可選擇模擬輸出(0.5或0.75 )
• 3 user-configurable set point relays
•3用戶可配置的設(shè)置點(diǎn)繼電器
• Microprocessor-based digital technology
•基于微處理器的數(shù)字技術(shù)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)訪問
• RoHS and CE compliant
•CE和ROHS標(biāo)準(zhǔn)
美國MKS真空計(jì) MKS 999系列多探頭全量程真空計(jì)應(yīng)用:
999 系列quattro的是理想的測(cè)量從大氣到廣泛的真空范圍UHV, 特高壓,與大氣的交換能力。典型的應(yīng)用包括半導(dǎo)體,薄膜涂層,分析儀器高能物理學(xué)。這些應(yīng)用程序需要*的穩(wěn)定性和精度從多傳感器的設(shè)計(jì)效益數(shù)字接口。緊湊的包系統(tǒng)集成商的理想.在這些市場(chǎng)上的設(shè)備制造商。客戶需要一個(gè)電源和 PDR900顯示可以使用999的pdr900.900系列控制器。
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