瑞士Inficon英?？嫡婵沼?/span> BPG402-S B-A型皮拉尼真空計
INFICON B-A型皮拉尼復(fù)合真空計, BPG402-S, 將兩個真空計復(fù)合在一個小型單元中, 測量范圍從 5 x 10-10 毫巴至大氣壓 (3.8 x 10-10 乇至大氣壓).復(fù)合技術(shù)降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性. 帶兩根涂敷氧化釔的銥燈絲的BPG402-S 用于可及的和可再現(xiàn)的過程, 在一個經(jīng)濟(jì)的真空計組件中執(zhí)行基本的壓強(qiáng)測量. 傳感元件和在機(jī)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)保證當(dāng)更換傳感器時的高度再現(xiàn)性.
瑞士Inficon英?？嫡婵沼?/span> BPG402-S B-A型皮拉尼真空計優(yōu)勢：
極寬的測量范圍從 5 x 10-10 毫巴至大氣壓 (3.8 x 10-10 乇至大氣壓)
過程壓強(qiáng)范圍從 10-8 … 10-2 毫巴,的再現(xiàn)性 5%
皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)防止燈絲過早燒毀
兩根涂敷氧化釔的長壽命銥燈絲
可選圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口, 例如以太網(wǎng)
自動高真空皮拉尼調(diào)整減少操作人員的干預(yù)
易于更換傳感元件和在機(jī)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)保證高的再現(xiàn)性
RoHS 兼容性
瑞士Inficon英福康真空計 BPG402-S B-A型皮拉尼真空計用途：
在半導(dǎo)體過程和傳送室中的壓強(qiáng)測量
工業(yè)鍍膜
在低至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
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