相對于一般無塵室內(nèi)廣泛被使用的手持式塵埃粒子計數(shù)器,或是落塵監(jiān)控設(shè)備,只能檢測出環(huán)境落塵品質(zhì)(如Class 1000),而不能檢測出塵埃落于何處;透過表面微粒子偵測器的照射,卻能輕易發(fā)覺生產(chǎn)設(shè)備上具有熒光成分的塵埃落點處,通過無塵布的擦拭做清潔預(yù)防工作,從面降低產(chǎn)品不良率。
此儀器攜帶方便,重量輕巧,非常適用于PCB,LCD,IC及封裝領(lǐng)域,對曝光機; 顯影機 及偏光板貼附機臺效果zui為顯著,對于制程機臺上之有機物質(zhì)、油漬、水漬、帶靜電塵屑、毛屑、纖維膠類物質(zhì)Particle 皆可觀察