質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測量與控制。
☆具有流量氣流響應(yīng)速度快、過沖小等特點。
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。
☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。
☆可任意位置安裝。
編號 | 項目 | S48 32/HMT
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1 | 流量規(guī)格 | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (0～1,2,3,5,10，20，30，50)L/min |
2 | 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
3 | 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) | 常閉 |
4 | 安裝方向 | 任意 |
5 | 流量控制范圍 | 2%～ |
6 | 流量測量范圍 | 0～ |
7 | 零點溫漂 | ±30mV（15℃～35℃） |
8 | 響應(yīng)時間 | 2S（T98，設(shè)定值的±2% F.S） |
9 | 工作環(huán)境溫度 | 5℃～50℃ |
10 | 精度保證溫度 | 15℃～35℃ |
11 | 精度 | ±1.0%F.S |
12 | 線性精度 | ±0.5%F.S |
13 | 重復(fù)性 | ±0.2%F.S |
14 | 工作壓差 | ＜10L/min (50～300)kPa，其余規(guī)格(100～300)kPa |
15 | 耐壓 | 3MPa |
16 | 泄漏率 | 1×10-8 Pa•m3／s （He） |
17 | 接觸氣體材料 | 316L、PTFE、Viton氟橡膠 |
18 | 管路接頭 | 1/4Swagelok,Φ6～Φ10 |
19 | 供電電源 | ±15VDC(±5%)。 +15V＜100mA,-15V＜150mA |
20 | 設(shè)定信號 | (0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ |
21 | 流量輸出信號 | (0～5)VDC 負(fù)載能力≤3mA |
22 | 電氣接頭 | D-SUB15 |
23 | 外形尺寸mm | 113(寬)×121（高）×32（厚）
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24 | 重量(Kg) | 0.94 |
