一、按用途和作用分
按用途和作用,傳感器可分為:溫敏傳感器、力敏傳感器、位移傳感器、液面?zhèn)鞲衅?、能耗傳感器、速度傳感器、射線輻射傳感器、振動(dòng)傳感器、濕敏傳感器、磁敏傳感器、氣敏傳感器、真空度傳感器、生物傳感器等。
二、按制造工藝分
按制造工藝,傳感器可分為:集成傳感器、薄膜傳感器、厚膜傳感器、陶瓷傳感器。
集成傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的。通常還將傳感器信號(hào)預(yù)處理電路也集成在同一芯片上。
薄膜傳感器則是利用相應(yīng)的材料,涂覆在陶瓷基片上制成的,幾篇通常是AL2O3制成的,然后進(jìn)行熱處理,成形厚膜。
陶瓷傳感器是采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝等(溶膠-凝膠等)生產(chǎn)。
三、按制造材料分
?。?)按基本的材料分為金屬、聚合物、陶瓷、混合物傳感器。
?。?)按材料的物理性質(zhì)分為導(dǎo)體、絕緣體、半導(dǎo)體、磁性傳感器。
?。ǎ┌床牧系木w結(jié)構(gòu)分為單晶、多晶、非晶材料傳感器
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