zui大放大倍率6萬倍
采用二次電子和背散射電子雙重探測器
5KV~30KV加速電壓選擇，圖像分辨路高
通過選配EDS可進行成分分析
冷卻臺的安裝可在無前處理情況下對水分取樣分析
高/低真空配置縮短前處理過程
CCD攝像頭的安裝可對載物臺內(nèi)部觀察
Tilt（0~45）載物臺配置（可選擇）
SEC Mini-SEM 電子顯微鏡
| 分辨率 | 15nm (30kV, SE Image) |
| 20nm (30kV, BSE Image) | |
| 放大倍率 | 30x~60,000x (有效放大倍率30,000x) |
| 加速電壓 | 5kV to 30kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step) |
| 圖像 | 二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image |
| 背散射電子圖像(BSEI)-Backscattered Electron Image* Multi Detector (SEI+BSEI) | |
| Observation mode | Standard Mode |
| Charge-up reduction mode | |
| 電子槍系統(tǒng) | |
| 燈絲類型 | 預(yù)對中鎢燈絲 |
| 偏壓系統(tǒng) | 自動偏壓方式 |
| 電子槍校正 | 手動方式 |
| 透鏡構(gòu)成 | |
| 聚光鏡 | 2段式磁線圈透鏡 |
| 物鏡 | 1段式磁線圈透鏡 |
| 探測器類型 | E-T Detector |
| 載物臺系統(tǒng) | 3軸操控- X, Y-axis : 20mm / R-axis : 360° |
| Image shift | X, Y Image Shift (100?) |
| 樣品zui大尺寸 | 50mm in diameter, 20mm in height |
| 圖像掃描速度 | 快速掃描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
| 低速掃描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.) | |
| 圖片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.) | |
| 圖片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.) | |
| 自動功能 | 自動啟動，自動聚焦，自動亮度對比度調(diào)節(jié) |
| 圖像存儲方式 | BMP, JPEG, PNG |
| 數(shù)據(jù)顯示 | 放大倍率，探測器類型，電壓，真空模式，文本，標尺等 |
| 真空系統(tǒng) | 全自動型/高者空模式+低真空模式(Multi mode) （旋轉(zhuǎn)式機械泵）Rotary Pump/100Liters/min （渦輪式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec 抽真空時間：2分鐘以內(nèi) |
| 操控系統(tǒng) | 鼠標和鍵盤 |
| 運行系統(tǒng) | 電鏡筆記本電腦 OS : Microsoft Window 7 CPU : In CoreTM i5 or High version Memory / HDD : 2GB / 500GB or High version |
| 軟件 | 圖像文件打開，編輯，存儲功能 長度，面積，角度等測量功能 設(shè)置數(shù)值初始化，圖像拍攝模式轉(zhuǎn)換，Archives, Setting(EDS)模式等 |
| 體積 | 設(shè)備主機-390(W)×640(D)×560(H)mm……1set 外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set |
| 重量 | 90kg |
| 設(shè)備環(huán)境 | 溫度：15℃~30℃ 濕度：70% or less 電源：Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz |
| 預(yù)對中鎢燈絲 | 5 pcs/box |
| 載物臺 | 15mm dia. (10 pcs) |
| 25mm dia. (10 pcs) | |
| 15mm 45° Tilt (5 pcs) | |
| 15mm 90° Tilt (5pcs) | |
| 真空潤滑油 | 1ea |
| 高度基準模塊 | 1ea |
| 6角扳手 | 1set |
| 掃描電鏡軟件修復(fù)用CD | 1ea |
| 銀膠(Silver Paste) 30g | 1ea |
| 碳導(dǎo)電膠帶 | 1roll |
| 剪刀 | 1ea |
| 洗耳球 | 1ea |
| 鑷子 | 1ea |
| 工具箱 | 1ea |
