技術(shù)參數(shù):
?流量規(guī)格:0~5,10,50,100,300,600,1000sccm(mL/min)
控制及顯示精度: 0.1sccm(mL/min)
準確度: ±0.2%F.S.
線性度: ±0.1%F.S.
重復精度: ±0.1%F.S.
工作壓差: 0~1MPa.
zui大耐壓: 1MPa
環(huán)境溫度: 0~65℃
電氣連接: DB9
輸出信號: LCD、RS232、RS485、CAN(數(shù)字協(xié)議帶電氣隔離)
電源: 15~40VDC
標準氣路接頭: M8*1、4mm快擰、6mm快擰
氣路管徑: 3~3.2mm、4mm、6mm(外徑)
可以測量的氣體類別: Air 、He、Ar、N2 、O2、H2、NO、CO、CH4、NH3 、N2O 、NO2 、CO2