掃描電鏡zui基本的功能是對各種固體樣品表面進行高分辨形貌觀察。大景深圖像是掃描電鏡觀察的特色,應用于生物學、植物學、地質(zhì)學、冶金學等領(lǐng)域。觀察可以是一個樣品的表面,也可以是一個切開的面,或是一個斷面。冶金學家已興奮地直接看到原始的或磨損的表面??梢院芊奖愕匮芯垦趸锉砻妫w的生長或腐蝕的缺陷。它一方面可更直接地檢查紙,紡織品,自然的或制備過的木頭的細微結(jié)構(gòu),生物學家可用它研究小的易碎樣品的結(jié)構(gòu)。例如:花粉顆粒,硅藻和昆蟲。另一方面,它可以拍出與樣品表面相應的立體感強的照片。
在掃描電鏡應用中,很多集中在器件和方面,它可以很詳細地檢查器件工作時局部表面電壓變化的實際情況,這是因為這種變化會帶來象的反差的變化。焊接開裂和腐蝕表面的細節(jié)或相互關(guān)系可以很容易地觀察到。利用束感生電流,可以觀測半導體P—N結(jié)內(nèi)部缺陷。
電子束與樣品作用區(qū)內(nèi),還發(fā)射與樣品物質(zhì)其他性質(zhì)有關(guān)信號。例如:與樣品化學成分分布相關(guān)的,背散射電子,特征X射線,俄歇電子,陰極熒光,樣品吸收電流等;與樣品晶體結(jié)構(gòu)相關(guān)的,背散射電子衍射現(xiàn)象的探測;與半導體材料電學性能相關(guān)的,二次電子信號、電子束感生電流信號;在觀察薄樣品時產(chǎn)生的透射電子信號等。目前分別有商品化的探測器和裝置可安裝在掃描電鏡樣品分析室,用于探測和定性定量分析樣品物質(zhì)的相關(guān)信息。
掃描電鏡對于固體材料的研究應用非常廣泛,沒有任何一種儀器能夠和其相提并論。對于固體材料全面特征的描述,掃描電鏡是至關(guān)重要的。
保證分辨率 | 3.0nm(30kV) |
放大倍數(shù) | 5至300,000x |
加速電壓 | 0.3kV至30kV |
電子槍 | 工廠預對中燈絲 |
聚光鏡 | 變焦聚光鏡 |
物鏡 | 錐形物鏡 |
樣品臺 | 全對中樣品臺 |
X-Y | 125mm-100mm |
Z | 5mm至80mm |
旋轉(zhuǎn) | 360° |
傾斜 | -10°至+90° |
排氣系統(tǒng) | DPx1,RPx1 |
排氣系統(tǒng) | DPx1,RPx2 |
JSM-6610A/JSM-6610LA分析型掃描電子顯微鏡,與日本電子公司的元素分析儀(EDS)組合于一體。結(jié)構(gòu)緊湊的EDS由顯微鏡主體系統(tǒng)的電腦控制,操作員只用一只鼠標,就可完成從圖像觀測到元素分析的整個過程。
大樣品室和馬達驅(qū)動樣品臺
樣品室對應樣品的直徑可達到200mm,5軸馬達驅(qū)動確保了高效率的樣品移動和觀察。
操作窗口
直觀的操作界面的設(shè)計,簡明易懂便于迅速掌握操作。
支持多用戶
單個用戶可以根據(jù)常用功能設(shè)置相應的圖標,營造高效率的操作環(huán)境。用戶登錄時,即可加載已注冊過的設(shè)定。
同時顯示兩幅圖像
畫面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實時圖像??赏瑫r觀察樣品的形貌和組成分布。
微細結(jié)構(gòu)測量
適合于多種測量功能??稍谟^察圖像上直接進行測量。也可將測量結(jié)果貼至SEM圖像,保存在文件中。
標準的全對中樣品臺,能收錄三維照片
3D Sight(選配件),能夠進行平面測量和高度測量,實現(xiàn)立體俯視圖。
從圖像觀察到元素分析,配合連貫一條龍
分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺監(jiān)視器,一臺用于SEM圖像觀察和另一臺用于元素分析(EDS)。一只通用鼠標即可同時控制兩臺監(jiān)視器。大尺寸畫面使操作更加簡便與舒適。
維護簡便
工廠預置中心燈絲,十分便于更換。因此,可*保持穩(wěn)定的高性能。此外,操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護的步驟說明。
可信賴的真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)使用高性能的擴散泵保證了潔凈的高真空狀態(tài)。擴散泵內(nèi)部無活動部件,體現(xiàn)了操作穩(wěn)定,維護簡便的特色。
后續(xù)更新中...........