功能和應(yīng)用范圍
透射方式：
對透明薄膜樣品，照明光源經(jīng)物鏡聚焦在樣品表面，光探針在薄膜的另一面表面掃描，由探針接收樣品表面散射光，獲得近場圖像。采用長焦距物鏡使物鏡焦點(diǎn)能夠到達(dá)并照明厚樣品的表面。物鏡在三維空間可調(diào)。
反射方式：
對不透明樣品可以改變儀器光路和探測器位置實(shí)現(xiàn)反射式測量。需另外增加接收探頭。
提供windows系統(tǒng)下的應(yīng)用程序?？梢酝瑫r(shí)獲取光學(xué)圖像和形貌圖像的，提供一至兩個附加的采樣通道和相應(yīng)的圖像顯示存儲功能。提供圖像數(shù)據(jù)與標(biāo)準(zhǔn)圖像格式的轉(zhuǎn)換。提供偽3維圖像顯示，F(xiàn)FT濾波、平面校正、曲面校正功能。
技術(shù)指標(biāo)
1. x－y線性掃描范圍20um×20um；可擴(kuò)展到30 um×30 um。
2. 掃描臺在z方向的線性移動范圍 3um，可擴(kuò)展；
3. 光學(xué)分辨率: 50nm－100nm，取決于探針質(zhì)量；
4. 光源波長: 530nm，650nm, 980nm可選；
5. 樣品尺寸：小于 20mm×20mm；
6. 樣品臺水平移動范圍 6mm×6mm；
7. 剪切力分辨率z: 1nm；x/y：10nm
8. z步進(jìn)距離：小于200nm。
