SiFlexTM SF1600S.A 和SF1600SN.A產(chǎn)品結(jié)合了一個(gè)MEMS電容式加速度傳感器,它是由一個(gè)陶瓷封裝的立體微加工工藝制成的硅元件,通過一個(gè)內(nèi)部連接板傳輸?shù)揭粋€(gè)混合信號(hào)器ASIC,能進(jìn)行模擬的、閉環(huán)的、力平衡操作。多芯片模塊(MCM)被安裝到印刷電路板上,由采用線性穩(wěn)壓器的功率調(diào)節(jié)電路、輸出放大器和其它輔助電子原件構(gòu)成。
SF1600采用雙極工作電源,電壓為± 6V至± 15V,并且在± 6V時(shí)的一般電流消耗為11mA。全線性加速度的范圍是±3g, 相應(yīng)的靈敏度為1.2V /g。它可在從-40°C至+85°C的溫度范圍內(nèi)工作??沙惺芨哌_(dá)1500克沖擊后而不會(huì)降低性能。在整個(gè)量程范圍的頻率響應(yīng)是從直流電到大于1500Hz
該產(chǎn)品分為帶有振蕩器(SF1600S.A)或無振蕩器(SF1600SN.A)兩種。
特性
±3G線性輸出
*噪聲級(jí)別0.3 μgrms/√Hz
寬動(dòng)態(tài)范圍of 117 dB (DC to 100Hz BW)
寬頻響 (DC to 1500Hz BW)
模擬伺服加速度傳感器
自我測(cè)試輸入
高可靠性
符合RoHS
參數(shù)
| 單位 | SF1600S / SF1600SN |
線性輸出范圍 | 峰值g | ± 3 |
直流漂移 | zui大值mg. | ± 200 |
比例因子/靈敏度 | V/g (差異) | 1.2 ± 0.12 (2.4 ± 0.24) |
動(dòng)態(tài)范圍(0.1 to 100 Hz BW) | 平均值 dB. ( zui小值) | 117 (113) |
噪聲 (10 to 1000 Hz) | 平均值 mgrms/√Hz (zui大值) | 0.3 (<0.5) |
噪聲(0.1 to 100 Hz) | 平均值 mgrms | 3.3 |
頻響 [1] | Hz | DC to 1500 |
交叉軸抑制 | 平均值dB | > 46 |
偏置溫度系數(shù) | 平均值mg/°C (zui小值 / zui大值) | 0.2 (-1 / +1) (ref ± 1g) |
靈敏度溫度系數(shù)(ref ±1g) | 平均值ppm/°C (zui小值/ zui大值) | 120 (-150 / +250) (ref ± 1g) |
偏移調(diào)整連接管腳的輸入電阻 | KΩ | 10 |
線性誤差 | 平均值% (zui大值) 在 ± 1g以內(nèi) | < 0.2 (<1%) |