1179A/2179A 質(zhì)量流量控制器/帶截至閥質(zhì)量流量控制器, 其滿量程范圍從10 sccm – 20 slm,
模擬和數(shù)字通訊口可選。
M100B/M10MB 質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器, 其滿量程范圍從10 sccm–50 slm
1559A/558A 大流量質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器, 其滿量程范圍從20– 200 slm
1579A/579A 大流量質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器, 其滿量程范圍從50 – 300 slm