TEM用氮化硅薄膜窗口
氮化硅薄膜窗特點
• 低應(yīng)力的8, 15 , 50nm厚的氮化硅支撐膜:50nm厚的薄膜具有zui大的視野范圍;8nm和15nm厚的無孔氮化硅薄膜適用于TEM超高分辨率的應(yīng)用
• 氮化硅支撐膜:低應(yīng)力的LPCVD非化學計量比氮化硅薄膜,良好的平整度、絕緣性和疏水性
• 良好的化學穩(wěn)定性:圖像分辨率和機械強度達到理想的平衡;
• 均勻性:減少了不同區(qū)域的不均勻性;
• TEM斷面成像應(yīng)用的特殊窗口:適用于傾斜斷層成像的0.5x1.5mm大窗口,傾斜度zui大可達75°
• 多窗口系列:2窗口,0.1x1.5mm;3x3系列,0.1x0.1mm
• 可應(yīng)用于多種顯微技術(shù):良好的機械穩(wěn)定性使得同一種薄膜可應(yīng)用于TEM, SEM, EDX, XPS and AFM 。
• 薄膜和基底耐酸,不會被溶解:可以在酸性條件或常規(guī)條件下研究、制備樣本
• 可應(yīng)用于高溫試驗環(huán)境: >1000° C
• 可提供更對精確的分析,如樣品中的碳含量,減少污染:可用于無碳環(huán)境中的TEM成像和分析
• 容易清洗:機械穩(wěn)定性和化學穩(wěn)定性使得薄膜很容易采用輝光放電或等離子清洗,無有機物殘留,改善成像質(zhì)量;
• 良好的平整度:良好的納米沉積基底和薄膜,無背景結(jié)構(gòu)適合于SEM成像
• 超凈加工,防止支撐膜上殘留微粒:100級的超凈間內(nèi)包裝
• 框架厚度:200 and 50µm :200µm是標準的TEM支撐架;50µm是特殊的TEM支撐架
• 標準框架直徑為3mm
• 同一批次的氮化硅薄膜窗具有相同的特性
氮化硅薄膜窗規(guī)格
單窗口系列
窗口類型 | 薄膜厚度 | 窗口尺寸 | 框架尺寸 | 框架厚度 |
20nm | 500x500µm | Φ3mm | 100µm | |
20/50nm | 500x500µm | Φ3mm | 200µm | |
50nm | 1000x1000µm | Φ3mm | 200µm | |
50nm | 100x100µm | Φ3mm | 200µm | |
15nm | 0.25x0.25mm | Φ3mm | 200µm | |
50nm | 0.25x0.25mm 0.5x0.5mm 0.75x0.75mm 1.0x1.0mm | Φ3mm | 200µm | |
200nm | 0.25x0.25mm 0.5x0.5mm 0.75x0.75mm 1.0x1.0mm | Φ3mm | 200µm | |
15/50/200nm | 0.25x0.25mm | Φ3mm | 50µm | |
50nm /200nm | 0.5x1.5mm | Φ3mm | 50µm |
多窗口系列
窗口類型 | 薄膜厚度 | 窗口尺寸 | 框架尺寸 | 框架厚度 |
50nm | 2x1陣列,100X1500µm | Φ3mm | 200µm | |
15nm /50nm /200nm | 2x1陣列,100X1500µm | Φ3mm | 200µm | |
50nm | 2x1陣列,100X1500µm | Φ3mm | 50µm | |
10nm /20nm | 3x3陣列,8個窗口100X100µm, 1個窗口100X350µm | Φ3mm | 100µm | |
10nm | 3x3陣列,8個窗口250X250µm, 1個窗口250X500µm | Φ3mm | 100µm | |
20nm | 3x3陣列,8個窗口100X100µm, 1個窗口100X350µm | Φ3mm | 200µm | |
50nm | 3x3陣列,8個窗口100X100µm, 1個窗口100X350µm | Φ3mm | 100µm | |
15nm /50nm /200nm | 3x3陣列,窗口100X100µm, | Φ3mm | 200µm | |
50nm | 3x3陣列,窗口100X100µm, | Φ3mm | 50µm | |
| 8nm | 單窗口,窗口大?。?.6×0.6mm;25個網(wǎng)格,氮化硅支撐膜200nm;網(wǎng)格上的氮化硅薄膜8nm;網(wǎng)格大?。?5µm ,網(wǎng)格間距:25µm; | Φ3mm | 200µm |
應(yīng)用簡介:
1、適合TEM、SEM、AFM、XPS、EDX等的對同一區(qū)域的交叉配對表征。
2、大窗口尺寸,適合TEM大角度轉(zhuǎn)動觀察。
3、無碳、無雜質(zhì)的清潔TEM觀測平臺。
4、背景氮化硅無定形、無特征。
5、耐高溫、惰性襯底,適應(yīng)各種聚合物、納米材料、半導(dǎo)體材料、光學晶體材料和功能薄膜材料的制備環(huán)境,(薄膜直接沉積在窗口上)。
6、生物和濕細胞樣本的理想承載體。特別是在等離子體處理后,窗口具有很好的親水性。
7、耐高溫、惰性襯底,也可以用于化學反應(yīng)和退火效應(yīng)的原位表征。
8、適合做為膠體、氣凝膠、有機材料和納米顆粒等的表征實驗承載體。
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