IGC EDWARDS 電離真空規(guī)控制器
性能特點
· 測量范圍寬:電子束除氣型的測量范圍為5 x 10-3 到 2 x 10-11 mbar。
· 表頭可選擇:可選擇電子束除氣、裸規(guī)或玻璃封裝、鎢或涂釷銥燈絲。
· 可選擇BOC Edwards界面 (允許連接到BOC Edwards活性真空計控制器)或并口命令和位置端口(PCSP) (15路D型連接器,完成所有輸入和輸出信號控制)。
· 與輔助低真空計連鎖工作
· 為確保高壓下電離真空計不發(fā)生意外,通過將皮拉尼或熱偶真空規(guī)連接到IGC或AGC實現(xiàn)互鎖工作。
· 比例測量系統(tǒng):提高測量精度,由軟件控制燈絲供電,充分保護(hù)燈絲。
· 電纜選擇靈活:電離真空規(guī)電纜有2m和3m,連接到IGC和AGC的電纜zui長可達(dá)100m。
· 設(shè)計滿足FCC B級、VDE 0871 B級和IEC 801的1到 4部分。
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BOC Edwards活性電離真空計控制器(IGC)提供1到2路電離真空規(guī)管工作所需要的電源、控制、信號調(diào)節(jié)。IGC的測量范圍為5 x 10-3 到2 x 10-11 mbar。 如果連接到BOC Edwards活性真空規(guī)控制器 (AGC) ,用戶就能從AGC前面板*控制電離真空規(guī),具體包括自動發(fā)射電流選擇、與其它真空規(guī)連鎖。另外,IGC可以直連到控制系統(tǒng),如PLC,使OEM或系統(tǒng)工作人員直接控制輸入和輸出信號 |