型號(hào) 配置 | JP-700 | JP-900 |
濺射室尺寸 (內(nèi)徑×高 )mm | φ700×860 | φ900×1200 |
極限壓力 | ≤5×10-4Pa | |
抽氣速率 | 從大氣抽至 5×10-3 Pa≤15min | |
真空系統(tǒng) | KT-500擴(kuò)散泵系統(tǒng) | K-600擴(kuò)散泵系統(tǒng) |
濺射方向 | 側(cè)面向中心濺射 | |
濺 射 靶 | 2個(gè) 80×750mm | 2個(gè) 120×1050mm |
靶 電 源 | DC 10 kW | DC 20 kW |
工件旋轉(zhuǎn) | 5~25r/min,連續(xù)旋轉(zhuǎn) | |
烘烤溫度 | 室溫--3000C 可控可調(diào) | |
用電功率 | 三相380V 42kW | 三相380V 65kW |