1. 用途及特點(diǎn)
氣體質(zhì)量流量控制器( Mass Flow Controller 簡(jiǎn)稱MFC )能夠在較大的量程
范圍內(nèi)對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。
氣體質(zhì)量流量計(jì)( Mass Flow Meter 簡(jiǎn)稱MFM )能夠在較大的量程范圍內(nèi)
對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。
它們?cè)谑I(yè)、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、環(huán)保和
真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場(chǎng)合包括:電子工藝
設(shè)備,如、氧化、CVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、;以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。
Line-Tech Ltd.致力于對(duì)產(chǎn)品的性能和生產(chǎn)工藝的不斷改進(jìn)。對(duì)M 系列氣
體質(zhì)量流量控制器(MFC)和氣體質(zhì)量流量計(jì)(MFM)進(jìn)行了全新的技術(shù)改造,
在功能和性能上有了進(jìn)一步的提高。
M 系列氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)具有精度高、響應(yīng)速度快、重
復(fù)性好、穩(wěn)定性佳、軟啟動(dòng)、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)(可以在高壓或真空條件下
工作),其操作使用方便,可任意位置安裝調(diào)試,并更好的與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自
動(dòng)控制。
M2100V 和M
1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters(公升)
sccm : s = standard cc = cm 的3 次方 m = minute(分鐘)
slpm : s = standard l = liter p = per m = minute(分鐘)
項(xiàng) 目 M21000V 和M2100A
1 流量規(guī)格(N2): 25slpm ~ 120slpm
(本公司可以為客戶在25slpm ~ 120slpm范圍內(nèi)任何區(qū)域標(biāo)定)
2 準(zhǔn)確度 :±1% F.S (Full Scale)
3
4 響應(yīng)時(shí)間 :≤3sec ( 特別要求::≤1sec )
5 耐壓 :zui高 95 bar
6 工作環(huán)境溫度 :
7 輸入輸出信號(hào): 0 ~ 5Vdc 4 ~ 20mA
8 電源 :±15Vdc, 350mA
氣路接頭形式
可提供5 種尺寸接管外徑的接頭類型:
a.. 1/8" Compress
b. 1/4" Compress
c. 3/8" Compress
d. 1/4" VCR
e. 1/4" VCO
范