北京東方晨景科技有限公司提供的三維磁場探針臺，采用無磁材料制成，三對類亥姆霍茲線圈正交放置，產(chǎn)生空間三維磁場，線圈采用水冷結(jié)構(gòu)，并且配備有線圈過熱保護(hù)裝置，可以長時間穩(wěn)定工作。通過軟件或者電源前面板控制每一維上的輸出電流，可以產(chǎn)生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺，可以實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動和樣品臺360度轉(zhuǎn)動，便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。
三維磁場探針臺和東方晨景自主研發(fā)的高精度雙極性電源相匹配，通過真正的雙極性電源輸出，實(shí)現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場合成.
三維磁場探針臺參數(shù)
◆ X軸線圈外徑：640mm
◆ Y軸線圈外徑：470mm
◆ Z軸線圈外徑：260mm
◆ X軸線圈間距：240mm
◆ Y軸線圈間距：126mm
◆ Z軸線圈間距：100mm
◆ X軸線圈電流：≤14A
◆ Y軸線圈電流：≤14A
◆ Z軸線圈電流：≤14A
◆ X軸中心磁場：≥300Gs
◆ Y軸中心磁場：≥300Gs
◆ Z軸中心磁場：≥300Gs
◆ X軸均勻度（Φ20球體）：0.1%
◆ Y軸均勻度（Φ20球體）：0.07%
◆ Z軸均勻度（Φ20球體）：0.5%
◆ 線圈冷卻形式：水冷
◆ 線圈工作溫度：＜60℃
◆ 總重量：約330㎏
樣品臺參數(shù)
◆ 樣品臺直徑：102mm(可更換)
◆ X方向行程：±51mm
◆ Y方向行程：±51mm
◆ 旋轉(zhuǎn)角度：360°
◆ 旋轉(zhuǎn)精度：0.1°
◆ 材料：無磁
探針座參數(shù)
◆ X向行程：±6mm
◆ Y向行程：±6mm
◆ Z向行程：±6mm
◆ 分辨率：20μm
◆ 三圍尺寸：38W*62D*54H
◆ 重量：200克
注：探針座可選
探針參數(shù)
◆ 長度：38mm
◆ 直徑：0.51mm
◆ 針尖直徑：10μm
◆ 材料：鎢
注：探針可選
顯微鏡參數(shù)
◆ 成像元件：CMOS
◆ 成像原件像素：1000萬
◆ 有效像素：1280*1024
◆ 連續(xù)變倍：6X-600X
◆ 視場范圍：3.5mm-35mm
◆ 調(diào)焦范圍：65mm
◆ 鏡頭直徑：50mm
◆ 最小分辨率：1微米
◆ 十字光標(biāo)：4組
◆ 輸出視頻：VGA
◆ 顯示器：19寸LCD
注：顯微鏡可選
