工作原理
在光學(xué)系統(tǒng)調(diào)整過程中，如果PSM物鏡的焦點(diǎn)精確定位在球面鏡的曲率中心，則反射光會(huì)在探測(cè)器的中心位置聚焦成一個(gè)縮小的點(diǎn)。否則，反射光將不能聚焦或者成中心對(duì)稱像。此時(shí)，通過 PSM 軟件可得到反射光形成的光斑大小和偏離的距離，為進(jìn)一步調(diào)整提供指導(dǎo)。
性能參數(shù)
◆ 高分辨率 CCD，數(shù)字成像
◆ 高精度光學(xué)裝調(diào)定位
◆ 光學(xué)檢測(cè)和成像分析
◆ 可作自準(zhǔn)直及角度測(cè)量
產(chǎn)品應(yīng)用
◆ 用于研究小樣品或者大目標(biāo)。
◆ 可以用作三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)或x-y-z 位移臺(tái)上星點(diǎn)法檢測(cè)成像系統(tǒng)；能量百分比數(shù)據(jù)分布在一個(gè)圓形區(qū)域內(nèi)，在離軸鏡校準(zhǔn)過程中，可以看到像差的逐漸減小。
◆ 在沒有物鏡的情況下，使用自準(zhǔn)直方法。
◆ 借助于三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x或者簡(jiǎn)易的調(diào)整夾具，可以快速裝調(diào)復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)。
◆ 快速檢查光學(xué)系統(tǒng)的裝調(diào)定位情況。
◆ 對(duì)于光學(xué)平臺(tái)或者導(dǎo)軌上的被測(cè)件，可測(cè)量其表面的曲率半徑。
◆ 光學(xué)表面與機(jī)械基準(zhǔn)面的校準(zhǔn)定位，例如定位球、測(cè)孔規(guī)等。
