LHCPS-4K型高性能閉循環(huán)制冷機(jī)探針臺(tái)特點(diǎn) ：
無制冷劑操作 ，無需消耗液氦或液氮
降溫控溫?zé)o需人員值守
低溫選件豐富
樣品處于真空環(huán)境
可定制以適應(yīng)8英寸晶圓樣品臺(tái)
LHCPS-4K為實(shí)現(xiàn)多功能和高性能設(shè)計(jì)，是性能、無需消耗制冷劑的低溫閉循環(huán)制冷機(jī)探針臺(tái)。 該系統(tǒng)為尋求便利低溫測(cè)量和無需消耗制冷劑提供了一個(gè)優(yōu)良的解決方案。 通過使用一個(gè)閉循環(huán)GM制冷機(jī)，通過閉循環(huán)減壓降溫提供冷源，探針臺(tái)可以在無人協(xié)助的情況下將溫度降至溫，從而減少了研究人員不必要的時(shí)間浪費(fèi)，把主要精力集中在樣品測(cè)量測(cè)試上。 LHCPS-4K上的各種選件和配置使研究人員能夠進(jìn)行嚴(yán)格的、具有挑戰(zhàn)性的測(cè)試測(cè)量。 LHCPS-4K提供了藍(lán)海科儀的低溫性能，其配置可使樣品溫度低至4K。 多個(gè)溫度傳感器分布在探針臺(tái)上，確保溫度準(zhǔn)確重復(fù)測(cè)量。 兩級(jí)制冷平臺(tái)制冷機(jī)允許樣品在冷卻期間保持在較高的溫度，降低冷凝的可能性，這是測(cè)量有機(jī)材料的關(guān)鍵要求。LHCPS-4K樣品臺(tái)設(shè)計(jì)可安裝測(cè)量2英寸晶圓，通過選擇大直徑樣品臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)4英寸晶圓測(cè)量，同時(shí)可接受定制8英寸樣品臺(tái)。
樣品托
接地樣品托
直接安裝在樣品臺(tái)，盡量減小對(duì)樣品的溫度梯度，與整個(gè)探針臺(tái)電器接通
同軸樣品托
樣品托表面與探針臺(tái)整體電器絕緣，通過BNC接口穿過真空室
三同軸樣品托
在同軸樣品托的基礎(chǔ)上增加GUARD層，層與層之間電器絕緣，提供保護(hù)電壓層，減小漏電流
光學(xué)樣品托
在以上任何一種樣品托的中心增加一個(gè)直徑6毫米的通光孔
磁場(chǎng)樣品托
磁場(chǎng)樣品托提供了一種低成本便捷的磁場(chǎng)測(cè)試環(huán)境，樣品托安裝在樣品臺(tái)上，和探針臺(tái)整體供地。磁場(chǎng)樣品托一套包括四種磁場(chǎng)產(chǎn)生環(huán)和一個(gè)安裝托。
根據(jù)不同的磁場(chǎng)需求，選擇使用不同的磁場(chǎng)產(chǎn)生環(huán)。四個(gè)磁場(chǎng)產(chǎn)生環(huán)分別能產(chǎn)生0.2T、0.18T、0.15T、0.1T磁場(chǎng)。
樣品托配置
注：其它尺寸樣品托接受定制
類型 接口 尺寸 設(shè)備包括 接地樣品托 無
φ32mm(1.25in) 選件
接地樣品托 φ32mm(1.25in)
同軸樣品托 BNC φ51mm(2in)
三同軸樣品托 TRIAX φ51mm(2in)
磁場(chǎng)樣品托 無
φ17mm(0.68in)
選件-光學(xué)
接地樣品托-光學(xué) φ32mm(1.25in)
同軸樣品托-光學(xué) BNC φ51mm(2in)
三同軸樣品托-光學(xué) TRIAX φ51mm(2in)
樣品托性能
電絕緣 溫差 溫度 接地樣品托 導(dǎo)通 0.1K-0.2K 500K 同軸樣品托 ＞100MΩ ≈1K 400K 三同軸樣品托 ＞100GΩ ≈1K-2K 400K 1.電絕緣測(cè)試是在100V電壓情況下，測(cè)量導(dǎo)電面之間的電阻
2.溫差是樣品托表面和樣品臺(tái)之間存在的溫差。樣品的熱接觸好壞以及樣品大小，都會(huì)對(duì)溫差產(chǎn)生影響，熱接觸不充分樣品負(fù)載大，會(huì)增加溫差。
接口BNC 同軸樣品托-配2耳BNC真空接口以極低溫同軸線纜 TRIAX 三同軸樣品托-配3耳三同軸真空接口以及低溫同軸線
探針臂配置
標(biāo)準(zhǔn)的微操作針臂，能安裝各種類型的探針，滿足絕大部分科研需求，實(shí)現(xiàn)直流、射頻、微博以及光學(xué)測(cè)量
靈活容易擴(kuò)展的探針集合
微操作針臂可以在全溫區(qū)、真空環(huán)境、磁場(chǎng)環(huán)境下使用
可以配置在藍(lán)?？苾x任意款探針臺(tái)上
磁場(chǎng)探針臺(tái)中更換成無磁材料針臂
每個(gè)針臂上安裝一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)溫度傳感器，可以接受定制傳感器類型
探針配置及用途
通用DC 小信號(hào)低噪聲DC測(cè)量高阻DC 高阻抗低漏電流測(cè)量 RF-1GHz KHz和MHz級(jí)別的測(cè)量，測(cè)量帶寬高達(dá)1GHz?？梢陨?jí)到RF/微波-40GHz測(cè)量，需要購買一個(gè)GSG探針 RF/微波-40GHz 可實(shí)現(xiàn)高達(dá)40GHz的測(cè)量，同時(shí)也能實(shí)現(xiàn)兼容DC測(cè)量 RF/微波-67GHz
可實(shí)現(xiàn)高達(dá)67GHz的測(cè)量，同時(shí)也能實(shí)現(xiàn)兼容DC測(cè)量 光纖探針 給樣品通光或者從樣品采集光
探針硬件配置
接口 探針 內(nèi)部線 水平角度 定制 通用DC
2耳BNC SMA低溫探針 微型低溫同軸線，屏蔽層接地 無 探針針尖和直徑 高阻DC 3耳triaxial SMA低溫探針
微型低溫同軸線，屏蔽層接三同軸GUARD 無 探針針尖和直徑
RF-1GHz
2.92mm(K型連接器) SMA低溫探針
2.92mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地 無 探針針尖和直徑
RF/微波-40GHz
2.92mm(K型連接器)
40G-GSG探針 2.92mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地
±5° GSG針尖距離 RF/微波-67GHz
1.85mm(Z型連接器)
67G-GSG探針 1.85mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地
±5°
GSG針尖距離
光纖探針
FC/APC或SMA905 無 光纖 ±5°
類型、波長、入射角
探針性能
注：絕緣電阻在100V電壓下測(cè)量得到
使用頻率 絕緣電阻 電容 阻抗 反射 傳輸 通用DC
DC-50Hz ＞100MΩ ＜100pF 50Ω 無 無 高阻DC
DC-50Hz
＞100GΩ
＜100pF
無 無 無 RF-1GHz
DC-1GHz
＞10MΩ
未測(cè)量 50Ω
＜-20dB
＜±1dB
RF/微波-40GHz
DC-40GHz
＞1MΩ
未測(cè)量
50Ω ＜-20dB
＜±1dB
RF/微波-67GHz
DC-67GHz
＞1MΩ
未測(cè)量
50Ω ＜-20dB
＜±1dB
光纖探針
無 無 無 無 無
探針定位
X軸 Y周 Z軸 行程 51mm(2 in) 25mm(1 in) 25mm(1 in) 精度 20μm 10μm 10μm
SMA低溫專用探針藍(lán)?？苾x為低溫探針臺(tái)設(shè)計(jì)專用探針，探針具有強(qiáng)大的通用性，能實(shí)現(xiàn)直流偏置、低/高頻測(cè)量、低噪聲屏蔽和低漏電流測(cè)量。SMA低溫探針主體由陶瓷或者FR4制作，低溫焊料焊接SMA接口，50歐姆阻抗傳輸線，可配置鎢、P7或者鈹銅探針。具有無氧銅熱沉帶，熱沉到樣品臺(tái)。
型號(hào) 材料 針尖直徑（μm） SMA-05D-01-W 鎢
1 SMA-05D-05-W
5 SMA-05D-10-W
10 SMA-05D-20-W
20 SMA-05D-100-W
100 SMA-05D-01-BC
鈹銅
1 SMA-05D-05-BC
5 SMA-05D-10-BC
10 SMA-05D-20-BC
20 SMA-05D-100-BC
100 SMA-05D-01-P7
paliney 7合金
1 SMA-05D-05-P7
5 SMA-05D-10-P7
10 SMA-05D-20-P7
20 SMA-05D-100-P7
100
針尖材料 描述 應(yīng)用 導(dǎo)電性 接觸電阻 壽命 鎢（W） 常用，耐用 適用各種樣品表面，能穿透氧化層 好 低 最長 鈹銅（BC） 常用，接觸電阻小 沉金焊盤pad 更好 更低 長 paliney 7合金(P7)
專用，接觸電阻小 更加精密的焊盤pad 長
LHCPS-4K技術(shù)參數(shù)
樣品冷卻集合
類型： 二級(jí)制冷平臺(tái)（樣品臺(tái)和防輻射屏）
防輻射屏：環(huán)繞在樣品臺(tái)周圍，安裝在制冷機(jī)一級(jí)制冷平臺(tái)上
冷源：二級(jí)制冷閉循環(huán)制冷機(jī)，1.2W@4.2K
磁場(chǎng)：磁場(chǎng)套裝，垂直樣品磁場(chǎng)
溫度
溫度 控溫范圍 配置 4K 4.5K-350K 2套探針臂 5K 5.5K-350K
4套探針臂 5.5K 6K-350K
6套探針臂 20K 20K-675K
高溫選件
控溫穩(wěn)定性樣品臺(tái)溫度
穩(wěn)定性 溫度，不控制 未測(cè)量 ＜10K ±100mK 10K-100K ±50mK 101K-250K ±50mK
251K-350K ±70mK
351K-675K ±100mK
抽空時(shí)間抽空時(shí)間
30 min＜1x10-1Pa 室溫 ＜5x10-3Pa
溫度 ＜1x10-4Pa
溫度 ＜1x10-4Pa
循環(huán)時(shí)間一次循環(huán)時(shí)間 4h
抽空時(shí)間： 0.5h
降溫時(shí)間: 2.0h
升溫時(shí)間: 1.5h
樣品臺(tái)振動(dòng)： ＜1μm 可定制＜100nm
樣品
樣品： φ51mm （2 in）
樣品背光： 無
樣品旋轉(zhuǎn)： 無 注：可定制旋轉(zhuǎn)，溫度受影響
探針配置
最多數(shù)量： 6
探針傳感器： 包括
探針安裝托溫度： ＜20K 樣品臺(tái)在溫度
探針裝配： 螺絲固定 熱沉到樣品臺(tái)
探針臂： 熱沉到防輻射屏
SMA低溫探針： 電絕緣＞100GΩ 適合低漏電流測(cè)量
微波探針： 選配 高達(dá)67GHz射頻測(cè)量
光纖探針： 選配 光電測(cè)量
制冷劑消耗
室溫到溫 不需要
氦@5K 不需要
溫控配置
樣品臺(tái)傳感器加熱器： 硅二極管溫度傳感器 單頭100W加熱器
防輻射屏傳感器加熱器： 硅二極管溫度傳感器 單頭50W加熱器
制冷機(jī)二級(jí)冷頭傳感器加熱器： 無 可以選裝硅二極管溫度傳感器 單頭100W加熱器
制冷機(jī)一級(jí)冷頭傳感器加熱器： 無 可以選裝硅二極管溫度傳感器 單頭100W加熱器
探針臂： 安裝 硅二極管溫度傳感器（在其中一個(gè)探針臂）
溫度控制器： cryocon26C
樣品托： 可拆卸51mm三同軸樣品托
占地面積： 長寬高700*700*900mm 不包括壓縮機(jī)和水冷機(jī)
真空腔體
材料： 鋁合金本色氧化 可選不銹鋼
總尺寸： 外徑220毫米 高150毫米
內(nèi)部尺寸： 直徑190毫米
觀察窗： 直徑80毫米 材料熔融石英
可視范圍： 直徑65毫米
泵抽口： KF25 配旋塞閥
真空計(jì)接口： KF25 可選KF16
進(jìn)氣口： 標(biāo)配直徑6.35管配閥門，可選其它接口
泄壓閥： 3.5KPa(0.5psi)
防輻射屏
材料： 無氧銅鍍金 可選鋁電鍍鎳
空間直徑： 150毫米
可視口： 50毫米 紅外吸收窗口
水電要求：
單項(xiàng)電： 220VAC 50Hz
單項(xiàng)總功率： 2KVA
三相電： 380VAC 50Hz
三相電總功率： ＞8KW
冷卻水要求： ＞8KW
水冷機(jī)要求： 制冷功率＞8KW，出水壓力2-4KG/c㎡ 水冷機(jī)可以選配，本探針臺(tái)不包括水冷機(jī)，水冷機(jī)需要三項(xiàng)電功率＞5KW
