等離子清洗設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料學(xué)、微電子、半導(dǎo)體、線路板、LED、微流控、光電太陽能、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,主要用于材料表面進行清洗、改性、刻蝕等目的。
產(chǎn)品特點:
u 7寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20個配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。
u PLC工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。
u 石英真空艙,真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染。
u 采用質(zhì)量流量計,實現(xiàn)對氣體輸入精準控制,改變傳統(tǒng)浮子流量計控制氣體流量不準確問題。
u HEPA高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。
u 60度傾角操作界面設(shè)計,符合人體功能學(xué),操作方便,界面友好。
u 頂置真空艙,上開蓋設(shè)計,下壓式鉸鏈開關(guān)方式,開關(guān)蓋方便。
u 采用花灑式多孔進氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。
u 上置式360度自由水平取放樣品托盤設(shè)計,符合人體功能學(xué),操作更方便。
u 有效清洗面積大,可清洗直徑8吋硅片。
u 安全保護,艙門打開,自動關(guān)閉電源。
G系列產(chǎn)品專為處理更大樣品尺寸而設(shè)計,滿足大部分實驗室和中試生產(chǎn)模擬生產(chǎn)條件要求。
技術(shù)參數(shù):
型號 | 10系列 | 10plus | C10M | Mplus | G系列 | Gplus | |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz | |
射頻功率 | 10-600W | 10-300W | 10-600W | 10-300W | 10-600W | 10-150W | |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 | 自動匹配 | ||||
激發(fā)方式 | 電容式 | 電容式 | 電容式 | ||||
氣體控制 | 雙浮子流量計 | 單路MFC(可選兩路) | 單路MFC(可選兩路) | ||||
艙體尺寸 | L300Xφ215mm | L300Xφ215mm | H100xΦ269mm | ||||
艙體容積 | 10.8L | 10.8L | 5.6L | ||||
艙體材質(zhì) | 不銹鋼 | 不銹鋼 | 石英玻璃 | ||||
有效處理尺寸 | L300xW215mm | L300xW215mm | Φ269mm 圓盤 | ||||
時間設(shè)定 | 9999秒 | 9999秒 | 9999秒 | ||||
真空泵 | 抽速8m3/h | 抽速8m3/h | 抽速4m3/h | ||||
氣體穩(wěn)定時間 | 1分鐘 | 1分鐘 | 1分鐘 | ||||
真空度 | 100pa以內(nèi) | 100pa以內(nèi) | 100pa以內(nèi) | ||||
電 源 | AC220V 50/60Hz 766/466W | AC220V 50/60Hz 752/452W | AC220V 50/60Hz 752/302W | ||||
產(chǎn)品尺寸 | L645xW550xH495mm | L645xW550xH495mm | L425xW480xH445mm | ||||
包裝尺寸 | L750xW700xH720mm | L750xW700xH720mm | L550xW630xH700mm | ||||
整機重量 | 55kg | 55kg | 30kg |