產品簡介：
EDIS全自動測量工具顯微鏡是通元識微光電為專業(yè)客戶而設計的一款超高測量精度的產品。采用了國/內外的顯微鏡影像系統(tǒng)、運動控制系統(tǒng)及精密的線性導軌及光柵尺，它可實現(xiàn)XYZ三軸全自動測量，并支持表面光源、輪廓光源及搖桿、電動鼻輪等各種附件。配備的VMA測量軟件，具有幾何測量、拍照、CNC編程、報表輸出等各種核心功能。它廣泛的應用于電子元件,精密模具,精密刀具,彈簧,塑膠,橡膠,油封止閥,照相機零件.汽車零件.PCB加工等領域，特別適用于大型半導體晶圓、液晶面板、太陽能基板、大型PCB等行業(yè)，實現(xiàn)對產品的拍照、觀察、測量等品控要求。
儀器特點：
◆ XYZ三軸CNC控制，全自動測量；
◆ 三軸精密線性滑軌、精密傳動系統(tǒng)；
◆ 可程控表面光源，LED輪廓光源；
◆ 自動對焦，支持電動鼻輪；
◆ VMA全自動影像測量軟件；
◆ VMZ全功能影像測量軟件；
◆ 多種測量行程規(guī)格配置。
技術參數(shù)：
| 型號 | EDIS120100P | EDIS150120P | EDIS150150P | EDIS170170P | |
| 行程(L×B×H,mm) | 1200×1000*200 | 1500×1200×200 | 1500×1500×200 | 1700×1700×200 | |
| 結構 | 花崗巖龍門式 | ||||
| 外部尺寸(L×B×Hmm) | 2000*2000×1900 | 2300×2200×1900 | 2300×2500×1900 | 2500×2700×1900 | |
| 整機重量(kg) | 3000 | 3800 | 4500 | 5500 | |
| 承重(kg) | 40 | ||||
| 測量精度 | XY軸 | E2=(5+L/150)µm | |||
| Z軸* | E1=(5.0+L/200)µm | ||||
| 速度 | XY軸 | 15mmin | |||
| Z軸 | 5mmin | ||||
| 光柵尺 | 標配：Taiwan Rational 0.001mm分辨率 選配：英國Renishaw 0.001分辨率 | ||||
| 傳動方式 | Taiwan TBI XYZ軸精密級滾珠絲杠 | ||||
| 導軌 | Taiwan Hiwin精密級導軌 | ||||
| CCD | SONY 1/3” CCD | ||||
| 光源 | 輪廓光 | China EDIS LED冷光源，256級亮度可調 | |||
| 表面光 | 顯微鏡同軸光源，256級亮度可調 | ||||
| 光學系統(tǒng) | 標配：China ICM-100 多鏡頭金相顯微鏡（1X/5X/10X/20X） | ||||
| 軟件 | 標配：EDIS VMA3.00 | ||||
| 運動控制 | Japan Panasonic J系交流CNC 系統(tǒng) + ADS運控卡+霍爾3維工業(yè)搖桿 | ||||
| 儀器桌 | EDIS | ||||
| 計算機 | 研祥(China EVOC)IPC610（研祥 | ||||
| 保修期 | 1年 | ||||
| 工作環(huán)境 | 溫度20℃±2℃，濕度30～80% | ||||
| 振動<0.002g，低于15Hz | |||||
| 電源 | 220V/50Hz/10A | ||||
