高精度流量計氣體配比器 :主要用于氣體流量測試,并按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營造特定要求的氣氛環(huán)境,控制方式采用數(shù)字控制 精度高 抗干擾能力強 根據(jù)客戶要求隨意修改氣體。
該氣體配比器可以外接兩種或多種氣體,采用CS200或CS100質(zhì)量流量計,氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強,閥門采用高壓球閥做截止閥,氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏。
1. 半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制
2. 各種真空鍍膜設(shè)備;
3. 特種材料表面處理
4. 氣體燃燒控制
5. 混合配氣系統(tǒng)
6. 泄漏探測系統(tǒng)
7. 環(huán)境檢測與分析設(shè)備
8. 分析儀器的氣體流量計量與控制
9. 化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要氣體檢測和控制的場所。
高精度流量計氣體配比器 技術(shù)參數(shù):
11. 氣體通道 | 12. 2進1出(KT-C2ZS) | 13. 3進1出(KT-C3ZS) | 14. 4進1出(KT-C4ZS) |
15. 可根據(jù)需求定制 | |||
16. 產(chǎn)品類型 | 17. 高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制/觸摸屏控制 | ||
18. 可選量程 | 19. 20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選) | ||
20. 產(chǎn)品精度 | 21. 高精度型±1%F.S 普通型±1%F.S | ||
22. 重復(fù)精度 | 23. 高精度型±0.2% F.S 普通型±0.2% F.S | ||
24. 線性 | 25. 高精度型±0.5% F.S. 普通型±1% F.S. | ||
26. 響應(yīng)時間 | 27. 高精度型≤1sec 普通型≤2sec | ||
28. 工作溫度范圍 | 29. (5~45)°C | ||
30. 供電電源 | 31. ~85-265VAC 50/60Hz | ||
32. 功耗 | 33. 40W | ||
34. 進氣口壓 | 35. ≤0.6MPa | ||
36. 連接管道 | 37. 316不銹鋼管道 | ||
38. 截止閥類型 | 39. 電磁閥 | ||
40. 單向閥開啟壓力 | 41. 0.02Mpa | ||
42. 壓力顯示量程 | 43. 0-0.6Mpa | ||
44. 控制方式 | 45. 7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié) | ||
46. 時間設(shè)定 | 47. 0-32000分鐘 | ||
48. 清洗功能 | 49. 一鍵清洗 | ||
50. 程序控制 | 51. 5段可編程序(時間-流量隨意設(shè)定值) | ||
52. 壓力顯示 | 53. 不銹鍘機械壓力表 | ||
54. 氣體混合罐 | 55. 有(內(nèi)置不銹鋼擾流板氣體混合均勻) | ||
56. 流量累計 | 57. 有(累計當(dāng)前運行總流量) | ||
58. 可選進出氣口接頭形式 | 59. 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭 | ||
60. 抗電磁干擾 | 61. 有 | ||
62. 外形尺寸 | 63. 約500x380x380mm | ||
64. 重量 | 65. 18KG~20KG |
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