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  • 紅外干涉測量設(shè)備

FSM 413 紅外干涉測量設(shè)備

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號FSM413
  • 品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時間2024-11-24
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 入駐年限1
  • 產(chǎn)品數(shù)量106
  • 人氣值657
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  鉑悅儀器的總公司設(shè)立在上海,并在北京、廣州、成都、武漢、青島、西安、沈陽、廈門、香港、加拿大設(shè)立了辦事處,在能及時引進(jìn)*進(jìn)技術(shù)的同時,保證了鉑悅儀器能快速、有效的為全國各地的客戶提供良好的服務(wù)。
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產(chǎn)品描述:紅外干涉測量技術(shù), 非接觸式測量
紅外干涉測量設(shè)備 產(chǎn)品詳情

紅外干涉測量設(shè)備適用于可讓紅外線通過的材料

硅、藍(lán)寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石  英、聚合物…………

襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)

平整度

厚度變化 (TTV)

溝槽深度

過孔尺寸、深度、側(cè)壁角度

粗糙度

薄膜厚度

環(huán)氧樹脂厚度

襯底翹曲度

晶圓凸點(diǎn)高度(bump height)

MEMS 薄膜測量

TSV 深度、側(cè)壁角度...

測量方式: 紅外干涉(非接觸式)

樣本尺寸:  50、75、100、200、300 mm

測量厚度: 30 — 780 μm (單探頭)

3 mm (雙探頭總厚度測量)

掃瞄方式: 半自動及全自動型號,

另2D/3D掃瞄(Mapping)可選

襯底厚度測量: TTV、平均值、小值、大值、公差...

粗糙度: 20 — 1000? (RMS)

重復(fù)性: 0.1 μm (1 sigma)單探頭*

0.8 μm (1 sigma)雙探頭*

分辨率:   10 nm

設(shè)備尺寸:

413-200: 26”(W) x 38” (D) x 56” (H)

413-300: 32”(W) x 46” (D) x 66” (H) 

重量: 500 lbs

電源 : 110V/220VAC      真空: 100 mm Hg

*樣本表面光滑(一般粗糙度小于0.1μm RMS)

** 150μm厚硅片(沒圖案、雙面拋光并沒有摻雜)

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