薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備簡介
FSM推出基于商業(yè)化應(yīng)用的激光掃描光學(xué)杠桿（Optilever）技術(shù)，主要應(yīng)用于薄膜應(yīng)力和晶圓彎曲測量。該設(shè)備頻繁使用在分析解決諸如薄膜裂紋，分層，突起和空隙是如何形成的問題。FSM128系列設(shè)備，適合在半導(dǎo)體，三-五族，太陽能，微機(jī)電，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和液晶面板行業(yè)的下一代器件的研發(fā)和生產(chǎn)中使用。
快速&非接觸激光掃描
3-D 視圖 &輪廓圖
可在室溫&高溫環(huán)境下測量
適用晶圓尺寸 50-300mm(如有其它尺寸測量需求可定制)
可使用機(jī)械手臂搬送晶圓
主要設(shè)計(jì)特性:
· 多用途
FSM 128 NT 可以兼容測量50-200mm尺寸晶圓，而無需更換晶圓樣品載片臺(tái)。FSM 128系列其它型號(hào)主要針對(duì)其它尺寸樣品設(shè)計(jì)。(例如：FSM128L可以測量大到300mm尺寸的晶圓樣品，而FSM 128G則專門設(shè)計(jì)來測量尺寸大到650 x 550mm的面板樣品)
· 樣品容易放置和回收
設(shè)計(jì)的可自動(dòng)伸縮開關(guān)門機(jī)構(gòu)，方便從樣品載片臺(tái)上放置和回收晶圓樣品，使多片晶圓測量變得輕而易舉。
· 自動(dòng)切換雙波段激光
FSM128系列具有的自動(dòng)激光切換掃描技術(shù).當(dāng)樣品反射率不好時(shí)，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)切換到不同波長的另外一只激光進(jìn)行掃描。這使客戶可以測量包括Nitride，Polyimides, Low K，High K,金屬等幾乎所
有的薄膜而不會(huì)遇到無法測量的問題。
· 2-D & 3-D Map
FSM128配備有馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的可旋轉(zhuǎn)載片臺(tái)，可以快速生成2-D&3D Map圖幫助用戶可以看到整片晶圓的曲率和應(yīng)力變化分布，并準(zhǔn)確反映出工藝和均勻性有問題的區(qū)域。
· 薄膜厚度
FSM128可以整合介電材料薄膜的厚度測量功能，使設(shè)備變成一臺(tái)可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境下靈活使用強(qiáng)大的桌面型設(shè)備。
測量結(jié)果圖表和Map可以很容易以Excel或者Word文檔輸出生成報(bào)告
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體, LED,太陽能,數(shù)據(jù)存儲(chǔ) & 液晶面板產(chǎn)業(yè)
