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儀表網(wǎng)>產(chǎn)品庫(kù)>測(cè)量/計(jì)量>光學(xué)測(cè)量>白度儀>LST-208型白光共焦法平面度測(cè)試儀
  • LST-208型白光共焦法平面度測(cè)試儀

LST-208型白光共焦法平面度測(cè)試儀

參考價(jià)
面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時(shí)間2024-11-19
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量9
  • 人氣值28
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同類(lèi)產(chǎn)品
北京三禾泰達(dá)技術(shù)有限公司成立于2003年1月21日2018~2020年間共取得11項(xiàng)產(chǎn)品軟件著作權(quán)2018年激光干涉測(cè)平儀項(xiàng)目獲得北京市朝陽(yáng)區(qū)頒發(fā)的研發(fā)能力提升獎(jiǎng)勵(lì)2020年被認(rèn)定為企業(yè)。2021年被認(rèn)定為中關(guān)村企業(yè)2021年2月有10項(xiàng)實(shí)用新型申請(qǐng)被國(guó)家局受理。十幾年來(lái)公司通過(guò)在測(cè)量領(lǐng)域的深耕和拓展,為市場(chǎng)提供了數(shù)款性?xún)r(jià)比的測(cè)量?jī)x器,其中7種儀器。公司產(chǎn)品主要面向五個(gè)大的市場(chǎng)方向: 半導(dǎo)體WAFER平面度/厚度檢測(cè)、光學(xué)玻璃幾何參數(shù)特征檢測(cè)、利用近紅外光進(jìn)行砷化鎵/硅晶體缺陷檢測(cè)、壓電水晶諧振器電學(xué)參數(shù)檢測(cè)以及激光傳感器應(yīng)用研究,我們的產(chǎn)品包括:LINT-208G型WAFER平坦度半自動(dòng)測(cè)試儀,該儀器目前;LINT-208G型WAFER平坦度/厚度全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng),該儀器目前;LST-208H型共聚焦法平面度測(cè)試儀,該系統(tǒng)處于國(guó)內(nèi)水平;ALC-2120型在線自動(dòng)研磨頻率控制儀,該儀器當(dāng)年;ALC-SI型硅在線自動(dòng)研磨厚度控制儀,該儀器當(dāng)年;TCS-A型電渦流在線研磨厚度控制儀,該儀器目前;ABS-2000型壓電水晶BLANK頻率分選機(jī)TMI-A型激光厚度測(cè)量?jī)x,該儀器目前;WMS-208AT型WAFER 激光全自動(dòng)厚度分選機(jī),該儀器市場(chǎng)反應(yīng)良好;我們的宗旨是通過(guò)向世界提供高技術(shù)高精度的測(cè)量?jī)x器和高水平的服務(wù)提升中國(guó)在檢測(cè)及激光傳感器領(lǐng)域的總體水平。我們的目標(biāo)是在激光測(cè)量領(lǐng)域做到世界。
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LST-208型白光共焦法平面度測(cè)試儀測(cè)量原理本機(jī)采用白光共聚焦傳感器掃描法進(jìn)行表面形貌測(cè)量,經(jīng)過(guò)測(cè)量可以得到Wafer的表面幾何尺寸特征信息
LST-208型白光共焦法平面度測(cè)試儀 產(chǎn)品詳情
LST-208型白光共焦法平面度測(cè)試儀
LST-208型白光共焦法平面度測(cè)試儀

測(cè)量原理

本機(jī)采用白光共聚焦傳感器掃描法進(jìn)行表面形貌測(cè)量,經(jīng)過(guò)測(cè)量可以得到 Wafer 的表面幾何尺寸特征信息。

功能設(shè)計(jì)

本機(jī)主要用于測(cè)量碳化硅、藍(lán)寶石、玻璃、砷化鎵、磷化銦、硅、鍺、金屬、陶瓷等平板材料的微觀形貌特征。我們使用 Semicon 定義來(lái)表述 wafer 形貌,如:THK(厚度、TTV(厚度變化、TIRWARP翹曲度、SORIBOW(彎曲度)等。

性能參數(shù)指標(biāo)

分辨率(Resolution 0.05μm

傳感器重復(fù)性(Repeatability 0.20μm

測(cè)量精度(Accuracy ±0.5μm(雙拋片)

測(cè)量點(diǎn)數(shù)(Data Points 1 個(gè)/50μm

厚度精度(Thickness: ±0.5μm(雙拋片)

半自動(dòng)型速度(Speed: 35s/片(米字型)

3、環(huán)境要求

儀器外擴(kuò)/重量:L920*W800*H1370(MM)/450Kg 電腦/顯示器工作臺(tái):L700*W700*H750(MM)

電源:AC220V/50HZ/1KW帶地線/空間無(wú)強(qiáng)磁干擾) 潔凈度:千級(jí)或百級(jí)(環(huán)境內(nèi)無(wú)酸堿氣體)

地面:隔振地面

/濕度:23℃±2℃/≤70%;無(wú)水氣凝結(jié)

關(guān)鍵詞:傳感器 顯示器
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