數(shù)字式工具顯微鏡
溫度要求
⑴ 工作室的溫度應(yīng)為20 ± 2 ℃
⑵ 工作室的溫度變化每小時≤0.5 ℃
⑶ 被測件和儀器的溫度差≤0.5 ℃
在滿足所規(guī)定溫度要求的條件下,儀器有如下保證:
① X 、Y 坐標(biāo) 用玻璃毫米分劃尺進(jìn)行檢定時,儀器的不準(zhǔn)確度:
(1 + L / 100)μm 式中L = 測量長度 單位:㎜
儀器的分劃尺按修正表進(jìn)行修正時:X向不大于0.0035㎜ Y向不大于0.0025
② 測角目鏡 測量角度的不準(zhǔn)確度: 不大于1′
③ 雙像目鏡 合像的不穩(wěn)定性:不大于0.0005㎜ 合像的不正確度:不大于 0.001㎜
④ 光學(xué)分度頭 不準(zhǔn)確度:不大于30″
⑤ 光學(xué)定位器 測量的不穩(wěn)定性:不大于0.001㎜ 測量的不準(zhǔn)確度:不大于0.0015㎜