設備簡介
高性能無氧烘箱能夠在氧氣濃度低至100ppm的氣氛中，在250℃的溫度下進行熱處理。這使得該系列非常適合晶圓塑封干燥，銀膠固化，晶圓光刻的軟烤和硬烤等，以及各類抗氧化熱處理。無氧烘箱采用專有的腔室結(jié)構(gòu)和密封技術(shù)，具有出色的氣密性和溫度均勻性，還確保了更高的穩(wěn)定性和重現(xiàn)性。同時采用由冷卻水循環(huán)的外部冷卻機構(gòu)，可以在不影響爐內(nèi)氣氛的情況下進行快速冷卻，從而縮短處理時間。適用于固化半導體晶圓干燥，IC封裝（銅基板，銀膠，硅膠，環(huán)氧樹脂），玻璃基板烘烤等。

產(chǎn)品特點
1、升溫速率可控，設定工藝曲線，一鍵運行；輔助降溫縮短降溫時間，提高生產(chǎn)效率；可達到低氧環(huán)境，固化效果更好。
2、箱內(nèi)采用單向水平運風，兩側(cè)風道內(nèi)強壓送風，風道兩側(cè)采用高密度沖孔風板，精確控制導流板角度，確保箱內(nèi)溫度均勻性。
3、高精度溫度控制器，PID調(diào)節(jié)，控制精度0.1℃，可程式觸摸屏控制器，并附設有超溫自動停電及報警電路，控制可靠，使用安全。
4、減壓閥+雙流量計節(jié)氮系統(tǒng)，無氧、低氧環(huán)境下節(jié)省氮氣消耗量。
5、采用大功率耐高溫長軸馬達，大口徑不銹鋼渦輪扇葉，可在高溫環(huán)境下長期穩(wěn)定工作。
6、烘箱內(nèi)部為不銹鋼結(jié)構(gòu)，箱內(nèi)持續(xù)充氮，使烘箱工作室內(nèi)處于低氧、潔凈狀態(tài)。
7、應用功能強大，老化、退火、測試、固化、干燥、溶劑、涂料和油漆固化、壓力緩解等。

選配組件
1、程序控溫：可配置程序型溫度控制器，實現(xiàn)多組程序控溫。
2、測溫功能：多點測溫查看及記錄功能。
3、風門調(diào)節(jié)：可加裝風量調(diào)節(jié)裝置，亦可實現(xiàn)風門開關(guān)程序控制。
4、溫度記錄儀：可配置多通道溫度記錄儀，打印機或RS485接口，用于連接打印機或PC設備，監(jiān)控記錄溫度變化狀況。
5、快速降溫系統(tǒng)：實現(xiàn)快速升降溫的功能。

規(guī)格參數(shù)