產(chǎn)品特點
PRODUCT FEATURES
潔凈烘箱廣泛用于半導(dǎo)體晶圓、液晶、光學(xué)模組、攝像頭模組和其他對烘烤要求較高的零件以及設(shè)備的熱處理/干燥或老化，也適用于安裝在潔凈室環(huán)境中。100級的潔凈度主要通過使用初效過濾器，HEPA高效過濾器和前后層流循環(huán)系統(tǒng)來實現(xiàn)的，在加熱或冷卻過程中提供穩(wěn)定的性能?？焖偕郎睾突謴?fù)時間確保出色的溫度控制和均勻性。具有的機(jī)械對流氣流系統(tǒng)。風(fēng)扇將底部烤箱產(chǎn)生的熱量帶走，防止損壞頂部單元。
潔凈烘箱采用PT100鉑傳感器測量實際的腔室溫度， 0.3µmHEPA高效過濾器，對空氣進(jìn)行有效循環(huán)過濾?？鞠溥€具備流量計和NPT配件，將惰性氣體如氮氣等引入腔室內(nèi)進(jìn)行特殊工藝烘烤，可以保持低至200PPM含氧水平。
潔凈烘箱外材質(zhì)為SPCC鋼板經(jīng)過蘇打水清洗后粉體烤漆處理；內(nèi)部是耐腐蝕的不銹鋼。配備四個可調(diào)節(jié)的穿孔不銹鋼托架，支架和機(jī)身易于拆卸，便于清洗。
安全功能包括獨立超溫保護(hù)，相序保護(hù)，斷電保護(hù)等多重保護(hù)機(jī)制，確保使用安全。設(shè)有安全門，烘烤降溫到溫度后才可以打開門，確保操作人員操作安全。
1、SUS304 1.5mm不銹鋼板，全滿焊工藝；
2、箱內(nèi)風(fēng)道內(nèi)設(shè)有潔凈空氣入口并裝有高效過濾器。可使用換氣和不換氣模式，可以使箱內(nèi)保證微正壓，以保證污染物不能進(jìn)入內(nèi)箱；
3、高效過濾器HEPA過濾網(wǎng)構(gòu)造潔凈室，可以對箱體內(nèi)氣體進(jìn)行單向過濾和循環(huán)過濾。根據(jù)使用要求，可以滿足潔凈級別ISO Class 5（國標(biāo)100級），ISO Class 6（國標(biāo)1000級），ISO Class 7（國標(biāo)10000級）等各種等級的需求；
4、配置自動充氮氣裝置，與自動開關(guān)風(fēng)門進(jìn)行充氮烘烤；
5、全新開發(fā)觸摸屏操作系統(tǒng)，帶高精度PID主控儀，控溫精度為±0.1℃，自動恒溫。可以保存配方，查看溫度曲線，導(dǎo)出升溫數(shù)據(jù)等；
6、根據(jù)使用要求，可以接受定制。
產(chǎn)品參數(shù)
PRODUCT PARAMETERS
型號 | YH-J100-ES-02 |
溫度范圍 | 常溫—300℃ |
溫度精度 | ±1℃ |
溫度均勻性 | ±2%（空載） |
加熱功率 | 6KW |
容積 | 350L |
工作尺寸（高*寬*深） | 910*620*620(mm) |
外部尺寸（高*寬*深） | 1750*855*1030(mm) |
過濾器 | HEPA耐高溫高效過濾器（CLASS 100） |
含氧量范圍 | 1%-100PPM(選配) |
升溫速率 | 升溫速率可調(diào)，空載常溫升至175℃大約30分鐘 |
定制服務(wù)
CUSTOM SERVICE
深圳怡和興可以提供不同程度的均勻性、尺寸、溫度范圍；如果您有特定的要求或規(guī)格，請根據(jù)您的需求與我們聯(lián)系，以便我們確保設(shè)備的設(shè)計、測試和調(diào)整能夠滿足您的要求。
