光柵柵尺系列
直線柵尺
鍍金鋼帶
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹 系數(shù) | 柵尺較大長度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
RGS +t2nyNcAIOSwzyKqYt82L1tmC4TIqkhJTgRh/u8FcsHsSa3WBzDLcupZY67CnexhVVjxFE9HZasq9st5Gymi71VdF+fAObNFQXzFb+UOKSjQYt0zA/83mAh96UBoBsI6AwBEeBikhQTBr天津SBS8hySOo2z2sOZXsdXSlXWQTiynDkSH5XymSfVriBX7J2FGOV7HgtJNzq/hx343pJNsyaZj5Y3r+aCdTTzmqGF6PUxhyruwLbbRhtXOUNlrmqSzAng/PkNQgl5eI74RVLQiot3iFb6prG3NiNx5Cqaabpm10gUtCDbMU2v0HTw4hDkUXri8H/F0ulegXQFaeMxQdmRJQWWDwc7cuYvwtCn3aIH1UuHuTpBDBR52lsp1DTI2pswYlfAD/NZATBf5RW7YHqXLSRY+O48513b | ±15 μm/m | 20 μm/40 μm | 使用端壓塊固定到基體,保持與基體相同的熱膨脹 | 如需超過50 m的長度,請聯(lián)系雷尼紹 | RGH22、RGH24、RGH25F、RGH25F UHV、RGH34、RGH41 |
RGSZ/RGSN | 同上 | 20 μm | 同上 | 同上 | TONiC、TONiC UHV |
玻璃直線硬柵尺
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹 系數(shù) | 柵尺較大長度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
RCLC | ±3 μm | 20 μm/40 μm | ~8 μm/m/°C | 130 mm | ATOM |
RGS40-G | ±4.2 μm/m | 40 μm | 同上 | 1.01 m | RGH40 |
不銹鋼鋼帶柵尺
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹 系數(shù)(20 °C時) | 柵尺較大長度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
RTLF | 40 μm(高精度):±5 μm/m 40 μm:±15 μm/m 20 μm:±5 μm/m | 20 μm/40 μm | 10.1 ±0.2 μm/m/°C | 10 m | ATOM |
帶碼道選項的不銹鋼鋼帶
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹 系數(shù)(20 °C時) | 柵尺較大長度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
搭配可選FASTRACK的RTLC20 | ±5 μm/m | 20 μm | 10.1 ±0.2 μm/m/°C | 10 m | VIONiC、TONiC、TONiC UHV |
搭配可選FASTRACK的RTLC40 | ±15 μm/m | 40 μm | 同上 | 10 m | QUANTiC |
帶FASTRACK選項的RTLA | ±5 μm/m | 30 μm | 同上 | 21 m | RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS(無FASTRACK) |
搭配可選FASTRACK的RTLA50 | ±10 μm/m | 50 μm | 同上 | 10.02 m | EVOLUTE |
搭配可選FASTRACK的RTLR40 | ±15 μm/m | 40 μm | 同上 | 10 m | RGH45 |
ZeroMet?直線硬柵尺
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹 系數(shù)(20 °C時) | 柵尺較大長度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
RELM/RELE | 1 m內(nèi)為±1 μm,以后±1 μm/m | 20 μm | 0.75 ±0.35 μm/m/°C | 1.5 m | VIONiC、TONiC、TONiC UHV、SiGNUM |
RELA | 同上 | 30 μm | 同上 | 1.5 m | RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS |
不銹鋼直線硬柵尺
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹 系數(shù)(20 °C時) | 柵尺較大長度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
RSLM/RSLE/RSLC | 1 m內(nèi)為±1.5 μm,2 m內(nèi)為±2.25 μm,3 m內(nèi)為±3 μm,5 m內(nèi)為±4 μm | 20 μm | 10.1 ±0.2 μm/m/°C | 5 m | VIONiC、TONiC、TONiC UHV、SiGNUM |
RSLR | 同上 | 20 μm | 同上 | 5 m | RGH20、RGH20F |
RSLA | 同上 | 30 μm | 同上 | 5 m | RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS |
圓光柵
不銹鋼圓光柵
柵尺名稱 | 刻劃精度(取決于圓光柵直徑) | 柵距 | 圓光柵直徑 | 讀數(shù)頭兼容性 |
RESR | ±3.97至±0.38角秒 | 20 μm/40 μm | 52至550 mm | RGH20、RGH20F、RGH40 |
RESM/REST/RESD | 同上 | 20 μm | 同上 | VIONiC、TONiC、TONiC UHV、SiGNUM |
RESA | 同上 | 30 μm | 同上 | RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE ETR、RESOLUTE FS |
超高精度不銹鋼圓光柵
柵尺名稱 | 安裝精度(取決于圓光柵直徑) | 柵距 | 圓光柵直徑 | 讀數(shù)頭兼容性 |
REXM/REXT | (≥100 mm直徑)±1角秒 (75 mm直徑)±1.5角秒 (≤57 mm直徑)±2角秒 | 20 μm | 52至417 mm | VIONiC、TONiC、TONiC UHV、SiGNUM |
REXA | 同上 | 30 μm | 同上 | RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE ETR、RESOLUTE FS |
玻璃碼盤
柵尺名稱 | 刻劃精度(取決于圓光柵直徑) | 柵距 | 圓光柵直徑 | 讀數(shù)頭兼容性 |
RCDM | ±0.5 μm | 20 μm/40 μm | 17至108 mm | ATOM |