重慶汗丁直銷olympus奧林巴斯OLS5000激光共聚焦顯微鏡
重慶汗丁直銷olympus奧林巴斯OLS5000激光共聚焦顯微鏡產(chǎn)品概觀特征:
獲得比我們之前型號快四倍的可靠數(shù)據(jù)。 1.**成像:捕捉任何表面的形狀。
2.快:
3.易于操作:只需放置樣品,然后按“開始”按鈕。
4.較大樣品的工作距離更長:測量高達210 mm的樣品。
出色的橫向分辨率
| 405 nm紫外激光和專用高NA物鏡可以捕捉傳統(tǒng)光學顯微鏡,白光干涉儀或紅色激光顯微鏡無法檢測到的精細圖案和缺陷。 | |
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紅色(658 nm:0.26μm線和空間) | 紫羅蘭型(405 nm:0.12μm線和空間) |
PEAK算法
![](https://img65.ybzhan.cn/5eceadd4559dcfd2478f8950f26a4fa069b6aaeb96fde1e744183904ca8d385538d813a043c5e8c6.jpg)
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VLSI標準80納米高度樣品(MPLFLN10XLEXT):OLS5000顯微鏡采用PEAK算法進行3D數(shù)據(jù)構建。該算法可提供從高放大倍率到高放大倍率的高精度數(shù)據(jù),并縮短數(shù)據(jù)采集時間。
The simple analysis function measures the step, line width, surface roughness, area, and volume only in the specified measurement areas. The causes of variance in the measurement results, such as the edge position and the threshold of the reference planes in volume analysis, are automatically detected so that the measurement results are stable and not affected by the operator’s skill level.
Measurement of the step height difference and distance between two specified regions.
Measurement of the difference in angle between two specified regions.
Measurement of the area/volume in the specified region; the reference planes are detected automatically, so no threshold setting is necessary.
Measurement of the surface roughness in the specified region.
Measurement of the width by automatically detecting edges in the specified region.
Measurement of R and the height from the reference plane based on the automatic recognition of a circular shape in the specified region.
重慶汗丁直銷olympus奧林巴斯OLS5000激光共聚焦顯微鏡產(chǎn)品應用:
汽車/金屬加工
內(nèi)部紋理/面積粗糙度測量(MPLAPON20XLEXT / 3 x 3縫合)
噴油嘴(復制品)/面積粗糙度測量(LMPLFLN50XLEXT)
活塞環(huán)/面積粗糙度測量(MPLAPON50XLEXT)
軸承球/型材測量(MPLAPO50XLEXT)
物料
不銹鋼腐蝕/高度測量(MPLAPON20XLEXT / 3 x 3縫合)
銅板/面積粗糙度測量(MPLAPON50XLEXT)
擴散板/輪廓測量(MPLAPON50XLEXT / 3 x 3縫合)
海綿/輪廓測量(MPLAPON20XLEXT / 3 x 3縫合)
電子元器件
Ni凸點/高度測量(MPLAPON20XLEXT)
MEMS(MPLAPON50XLEXT)
光刻膠/高度測量(MPLAPON100XLEXT)
粘接線(MPLAPON100XLEXT)
其他
微針/輪廓測量(MPLAPON50XLEXT / 6 x 6縫合)
皮膚(復制品)/面積粗糙度測量(MPLAPON20XLEXT / 5 x 5縫合)
由Bunka Gakuen University時裝科學學院功能設計實驗室提供
磨石/輪廓測量(MPLAPON20XLEXT)
圓珠筆驗收座/面積粗糙度測量(LMPLFLN20XLEXT)
重慶汗丁直銷olympus奧林巴斯OLS5000激光共聚焦顯微鏡產(chǎn)品主要規(guī)格:
模型 | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000電弧爐 | OLS5000-EMF | |
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總放大倍數(shù) | 54x - 17,280x | |||||
視野 | 16um - 5,120um | |||||
測量原理 | 光學系統(tǒng) | 反射型共焦激光掃描激光顯微鏡 反射型共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡 Color Color-DIC | ||||
光接收元件 | 激光:光電倍增管(2ch) 顏色:CMOS彩色攝像機 | |||||
高度測量 | 顯示分辨率 | 為0.5nm | ||||
動態(tài)范圍 | 16位 | |||||
重復性σn -1 * 1 * 2 * 6 | 20x:0.03μm,50x:0.012μm,100x:0.012μm | |||||
準確度* 1 * 3 * 6 | 0.15 + L /100μm(L:測量長度[mm]) | |||||
拼接圖像的準確度* 1 * 4 * 6 | 20x:15 +0.5Lμm,50x:9 +0.5Lμm,100x:7 +0.5Lμm(L:拼接長度[μm]) | |||||
測量噪聲(Sq噪聲)* 1 * 5 * 6 | 1納米 | |||||
寬度測量 | 顯示分辨率 | 1納米 | ||||
重復性3σn -1 * 1 * 6 | 20x:0.05μm,50x:0.04μm,100x:0.02μm | |||||
準確度* 1 * 3 * 6 | 測量值+/- 1.5% | |||||
拼接圖像的準確度* 1 * 3 * 6 | 20x:15 +0.5Lμm,50x:9 +0.5Lμm,100x:7 +0.5Lμm(L:拼接長度[ mm ]) | |||||
單次測量中的*大測量點數(shù) | 4096 x 4096像素 | |||||
*大測量點數(shù) | 36萬像素 | |||||
XY平臺配置 | 長度測量模塊 | ? | NA | NA | ? | NA |
工作范圍 | 100 x 100mm電動 | 100 x 100mm手動 | 300 x 300 mm電動 | 100 x 100mm電動 | 100 x 100mm手動 | |
*大樣本高度 | 100毫米 | 30毫米 | 37毫米 | 210毫米 | 140毫米 | |
激光光源 | 波長 | 405納米 | ||||
*大輸出 | 0.95 mW | |||||
激光課 | 2級(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014) | |||||
彩色光源 | 白色LED | |||||
電源 | 240瓦 | 240瓦 | 278瓦 | 240瓦 | 240瓦 | |
塊 | 顯微鏡體 | 約。31公斤 | 約。32公斤 | 約。50公斤 | 約。43公斤 | 約。44公斤 |
控制箱 | 約。12公斤 |
* 1在ISO554(1976),JIS Z-8703(1983)中規(guī)定的恒溫恒溫環(huán)境(溫度:20℃±1℃,濕度:50%±1%)下使用時保證。
* 2用MPLAPON LEXT系列目標測量時。
* 3使用專用LEXT物鏡測量時。
* 4使用20X或更高的專用LEXT物鏡進行測量時。
* 5使用MPLAPON100XLEXT物鏡測量時的典型值。
* 6奧林巴斯證書系統(tǒng)保證。
重慶汗丁直銷olympus奧林巴斯OLS5000激光共聚焦顯微鏡產(chǎn)品客觀參數(shù):
系列 模型 數(shù)值孔徑(NA) 工作距離(WD)(mm) UIS2物鏡 MPLFLN2.5x 0.08 10.7 MPLFLN5x 0.15 20 LEXT專用物鏡(10X) MPLFLN10xLEXT 0.3 10.4 LEXT專用物鏡(高性能型) MPLAPON20xLEXT 0.6 1 MPLAPON50xLEXT 0.95 0.35 MPLAPON100xLEXT 0.95 0.35 LEXT專用物鏡(長工作距離型) LMPLFLN20xLEXT 0.45 6.5 LMPLFLN50xLEXT 0.6 五 LMPLFLN100xLEXT 0.8 3.4 超長工作距離鏡頭 SLMPLN20x 0.25 25 SLMPLN50x 0.35 18 SLMPLN100x 0.6 7.6 LCD鏡頭的工作距離長 LCPLFLN20xLCD 0.45 8.3-7.4 LCPLFLN50xLCD 0.7 3.0-2.2 LCPLFLN100xLCD 0.85 1.2-0.9