產(chǎn)品用途
BX500T大平臺(tái)工業(yè)顯微鏡配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡、大視野目鏡、圖像清晰,襯度好。是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開(kāi)發(fā)的,作為高級(jí)工業(yè)顯微鏡使用??蛇M(jìn)行明暗場(chǎng)觀察、落射偏光、DIC觀察,廣泛用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對(duì)硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測(cè)分析。
技術(shù)規(guī)格 | |
觀察頭 | 30°鉸鏈?zhǔn)饺浚?0mm-75mm) |
目鏡 | WF10×/25mm |
WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板 | |
轉(zhuǎn)換器 | 帶DIC插孔明暗場(chǎng)五孔轉(zhuǎn)換器 |
物鏡 | 平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作 距離明暗場(chǎng)物鏡:5×/0.1B.D/W.D.29.4mm |
10×/0.25B.D/W.D.16mm | |
20×/0.40B.D/W.D.10.6mm | |
40×/0.60B.D/W.D.5.4mm | |
平臺(tái) | 雙層移動(dòng)平臺(tái) |
平臺(tái)尺寸: 350mm×310mm | |
移動(dòng)范圍:250mm×250mm | |
濾色片 | 插板式濾色片(綠、藍(lán)、中性) |
調(diào)焦 | 粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦,采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu) 微動(dòng)格值0.002mm |
光源 | 落射照明:帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄,鹵素?zé)?2V/100W,AC85V-230V亮度可調(diào)節(jié) |
偏光裝置 | 檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng),起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 |
檢測(cè)工具 | 0.01mm測(cè)量軟件 |
可供附件 | 目鏡:WF15×/17mm、WF20×/12.5mm |
130萬(wàn)、200萬(wàn)、300萬(wàn)、500萬(wàn)像素CMOS電子目鏡 | |
平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、 | |
80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm | |
二維測(cè)量軟件 | |
專業(yè)金相圖像分析軟件 | |
DIC(10×、20×、40×、100×) | |
攝影裝置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75× | |
壓平機(jī) | |
彩色1/3寸CCD 520條線 |
XJP-405特點(diǎn)說(shuō)明
1、采用了UIS高分辨率、長(zhǎng)工作距離無(wú)限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。
2、 拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù),無(wú)限遠(yuǎn)物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法,DIC并在 每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量。
3、 采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度。
4、 WF10×(Φ25)超大視野目鏡,長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)金相物鏡。
5、 可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器。