PECVD射頻模塊:PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109--1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)物質(zhì),從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡單,與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。
PECVD射頻模塊技術(shù)資料
型號(hào) | KT--PE150S | KT-PE500Z |
信號(hào)頻率 | 13.56MH? ±0.005% | |
功率輸出范圍 | 0-150W | 0-500W |
功率穩(wěn)定度 | ≤5W | |
反射功率 | 40W | |
射頻輸出接口 | 7/16 female 50 Ω | |
功率穩(wěn)定度 | ≤5W | |
匹配方式 | 手動(dòng)調(diào)節(jié)匹配 | 500W自動(dòng)匹配 |
耦合方式 | 電感式耦合 | |
輝光壓力 | ≤30Pa | |
供電電壓 | AC220V±10% 50/60H? | |
整機(jī)效率 | ≥70% | |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | |
支持爐管直徑 | Φ25mm--φ80mm | Φ25mm--150mmφ |
感應(yīng)區(qū) | 210mm | |
整機(jī)重量 | 48KG | |
整機(jī)尺寸:H×W×D(mm) | 600×600×1100 |