均溫氧化擴散爐

1.溫場均勻，恒溫區(qū)長度及精度：300～1250mm  800~1200℃±1℃

2.具有強大的軟件功能，NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時顯示各種工藝狀態(tài)；配有故障自診斷軟件； 

3.程序可以實現(xiàn)手/自動工作，在停電或中途停機后，再次啟動可以根據(jù)工藝手動升溫，節(jié)省工藝時間； 

4.具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇； 

5.冷端檢測環(huán)境溫度進行溫度補償，避免環(huán)境溫度變化，對爐膛溫度產(chǎn)生影響，避免層間干擾； 

6.可存儲多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運行調(diào)用功能，具有多點溫度補償

7.氣體流量采用數(shù)字化精確控制，采用模擬信號閉環(huán)控制，強弱電分開，各種數(shù)據(jù)交互采用標(biāo)準(zhǔn)總線，提高抗干擾能力，保證數(shù)據(jù)安全；氣體打開具有緩啟動功能； 

8.具有多種報警功能及安全保護功能； 9.恒溫區(qū)自動調(diào)整，串級控制，可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實際工藝溫度； 

10.壓力自動調(diào)整技術(shù)，將壓力參數(shù)引入晶體硅氧化工藝，有效減小了尾部排風(fēng)對工藝的干擾，減小由排風(fēng)引起的工藝波動。