設備特點：

1.溫場均勻，恒溫區(qū)長度及精度：300～1250mm 800~1200℃±1℃

2.具有強大的軟件功能，NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時顯示各種工藝狀態(tài)；配有故障自診斷軟件；
3.程序可以實現(xiàn)手/自動工作，在停電或中途停機后，再次啟動可以根據(jù)工藝手動升溫，節(jié)省工藝時間；
4.具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇；
5.冷端檢測環(huán)境溫度進行溫度補償，避免環(huán)境溫度變化，對爐膛溫度產(chǎn)生影響，避免層間干擾；

6.可存儲多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運行調(diào)用功能，具有多點溫度補償
7.氣體流量采用數(shù)字化精確控制，采用模擬信號閉環(huán)控制，強弱電分開，各種數(shù)據(jù)交互采用標準總線，提高抗力，保證數(shù)據(jù)安全；氣體打開具有緩啟動功能；
8.具有多種報警功能及安全保護功能；
9.恒溫區(qū)自動調(diào)整，串級控制，可準確控制反應管的實際工藝溫度；
10.壓力自動調(diào)整技術，將壓力參數(shù)引入晶體硅氧化工藝，有效減小了尾部排風對工藝的干擾，減小由排風引起的工藝波動

可配工藝管外徑

爐管外徑152mm 適用于3＂；爐管外徑252mm 適用于6＂；

爐管外徑300mm 適用于8＂

溫度控制范圍

300~1150 ℃

恒溫區(qū)長度及精度

300～1250mm（依客戶要求定） 300~800 ℃±1.5℃, 800~1100 ℃±1℃

可控升降溫速率

升溫速率：≦15℃/min 降溫速率≦5℃/min

加熱區(qū)個數(shù)

3區(qū)，4區(qū)，5區(qū)，6區(qū)（依客戶要求定）

送料方式

手動送料

冷卻系統(tǒng)

水冷2-4Kgf/cm2，8L/min；＋上接排風冷≈25m3/min；

軸向溫場分布

徑向溫場分布

控制系統(tǒng)

1.可預存15條工藝曲線，避免不同的實驗工藝重復設置帶來的麻煩；

2.實驗過程更加直觀，操作更加便捷；

3.NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，10寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話模式，非線性式樣溫度修正；

4.具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護等功能。

加熱腔體

采用優(yōu)質加熱絲：KANTHAL及HRE

絕熱材料：晶體纖維等

絕緣子：高純剛玉，間距依據(jù)溫場調(diào)節(jié)

端口過渡環(huán)：氧化鋁纖維真空成型。

溫區(qū)：3段、4段、5段、6段

真空密封系統(tǒng)

真空度：≤10Pa（機械泵）

供氣系統(tǒng)

采用質子流量計控制氣體流速，與設備集成為一體；

可選配項目

1. 出料口排毒氣柜；

2. 凈化出料臺；

3. 自動石英漿推拉舟機構

設備使用注意事項

1. 裝取樣片必須帶石棉手套，使用石英器件小心打碎；

2. 選擇合適的石英舟，取出清潔好的石英托板和石英拉鉤；

3. 安裝樣片插入到石英舟的槽內(nèi)，用石英拉鉤將石英舟推入爐管到恒溫區(qū)；

4. 爐管內(nèi)壓力不得超過0.15MPa（壓力），以防止壓力過大引起危險；

5.高真空下使用時），設備使用溫度不得超過1000℃；

服務支持

一年有限保修，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如爐管和密封圈等）