名稱 | 參數(shù) |
載物臺大小 | 220*180mm |
XY行程 | 220*180mm |
視野(FOV) | 50mm |
視野(FOV) | 50μm |
載物臺負荷 | 8KG |
被測物體面積 | 220*180*220mm |
軸數(shù) | 3軸 |
運動速度 | 100mm/s |
最小步進精度 | <3μm |
空間分辨率 | 3μm |
穿透力 | 30mm鋁板 |
灰度級 | 12級 |
系統(tǒng)倍率 | 150倍(幾何倍率25倍) |
管電壓KV | 60KV |
管電流uA | 100uA |
光管類型/焦斑 | 一體式油冷微焦光斑光管,FOCUS=50um |
圖像接收器 | 光纖數(shù)字成像面板 |
圖像接收器傾斜 | 0° |
輻射參考:GB15208.1~2005 | 輻射值≤1usv |