型號(hào)參數(shù) | MLK X2000 | MLK X2000S | MLK X2000P |
載物臺(tái)大小 | 480*450mm | 480*450mm | 480*450mm |
XY 行程 | 450*480mm | 450*480mm | 450*480mm |
視野(FOV) | 100mm | 100mm | 100mm |
最小視野(FOV) | 2.5mm | 2.5mm | 2.5mm |
載物臺(tái)負(fù)荷 | 10kg | 10kg | 10kg |
被測(cè)物體體積 | 480*450*150mm | 480*450*150mm | 480*450*150mm |
軸數(shù) | 5 軸 | 6 軸 | 6 軸 |
運(yùn)動(dòng)速度可達(dá) | 100mm/s | 100mm/s | 100mm/s |
最小步進(jìn)精度 | <3um | <3um | <3um |
空間分辯率 | 3um | 2um | 2um |
穿透力 | 50mm 鋁板 | 60mm 鋁板 | 60mm 鋁板 |
灰度級(jí) | 12 級(jí) | 12 級(jí) | 12 級(jí) |
系統(tǒng)倍率 | 300 倍(幾何倍率 50 倍) | 300 倍(幾何倍率 50 倍) | 300 倍(幾何倍率 50 倍) |
管電壓 KV | 100KV | 100KV | 100KV |
管電流 uA | 200uA | 250uA | 250uA |
光管類型/焦斑 | 封閉式油冷微焦斑光管, FOCUS=5um | 一體式油冷微焦斑光管, FOCUS=5um | 封閉式油冷微焦斑光管, FOCUS=5um |
圖象接收器 | 200CCD+II 相機(jī) | 光纖數(shù)字成像面板 | 光纖數(shù)字成像面板 |
圖象接收器傾斜 | Max70° | Max70° | Max70° |
輻射參考: GB15208.1~2005 | 輻射值≤1usv | 輻射值≤1usv | 輻射值≤1usv |