測(cè)定范圍 | Z:50mm X:100mm |
測(cè)定精度 | Z:±0.25%/全量程 |
X軸光柵尺分解能 | 0.1μm |
測(cè)定倍率 | 縱橫均為1~200倍 |
上下移動(dòng)范圍 | 200mm |