技術(shù)數(shù)據(jù)
| 圓度偏差（µm+µm/mm 測量高度）* | 0,015 + 0,0003 |
| 圓度偏差（µm+µm/mm 測量高度）** | 0,03 + 0,0006 |
| 軸向跳動偏差（µm+µm/mm 測量半徑）* | 0,02 + 0,0001 |
| 軸向跳動偏差（µm+µm/mm 測量半徑）** | 0,04 + 0,0006 |
| 調(diào)心調(diào)平工作臺 | 手動 |
| 工作臺直徑 (mm) | 160 |
| 工作臺負(fù)載，居中 (N) | 200 |
| 速度 (rpm) 50 Hz / 60 Hz | 0.2-15 |
| 測量路徑，機(jī)動 (mm)，Z 軸 | 250 |
| 直線度偏差/100 mm 測量路徑 (µm)**，Z 軸 | 0.15 |
| 直線度偏差/總測量路徑 (µm)**，Z 軸 | 0.3 |
| 跟蹤方向的平行度偏差 Z-/C-軸 (µm) | 0.5 |
| 測量速度 (mm/s)，Z 軸 | 0.5-30 |
| 定位速度 (mm/s)，Z 軸 | 0,5-100 |
| 定位路徑 (mm)，X 軸 | 150，機(jī)動 |
| 定位速度 (mm/s)，X 軸 | 0,5-30 |
