產(chǎn)品簡介
HCS621GXY專為顯微鏡/光譜儀設(shè)計(jì)。此款冷熱臺可在 -190℃ ~ 600℃ 范圍內(nèi)控溫，同時允許光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。熱臺上蓋與底殼構(gòu)成一個氣密腔，可往內(nèi)充入氮?dú)獾缺Ｗo(hù)氣體，來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。此外冷熱臺帶有可從密封腔外移動樣品的XY樣品微分移動尺。此外另有真空腔型號HCS421VXY提供。
溫控參數(shù)
溫度范圍 | -190℃ ~ 600℃（負(fù)溫需配液氮制冷系統(tǒng)） |
加熱塊材質(zhì) | 銀 |
傳感器/溫控方式 | 100Ω鉑RTD / PID控制 |
Z大加熱/制冷速度 | +150℃/min （100℃時） -50℃/min （100℃時） |
Z小加熱/制冷速度 | ±0.01℃/min |
溫度分辨率 | 0.01℃ |
溫度穩(wěn)定性 | ±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃） |
軟件功能 | 可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線 |
光學(xué)參數(shù)
適用光路 | 透射光路 和 反射光路 |
窗片 | 可拆卸與更替的窗片 |
Z小物鏡工作距離 | 5 mm *截面圖中WD |
Z小聚光鏡工作距離 | 11.5 mm *截面圖中CWD |
透光孔 | φ2 mm *截面圖中φVA |
上蓋窗片觀察 | 窗片范圍φ18mm，Z大視角±58° *截面圖中θ1 |
底部窗片觀察 | 窗片范圍φ18mm，Z大視角±19° *截面圖中θ2 |
負(fù)溫下窗片除霜 | 吹氣除霜管路 |
結(jié)構(gòu)參數(shù)
加熱區(qū)/樣品區(qū) | ?26 mm *使用XY移動尺時樣品區(qū)由樣品襯底決定 |
樣品腔高 | 2.5 mm *樣品Z大厚度 = 樣品腔高 – 樣品襯底厚度 |
樣品襯底 | 默認(rèn)為石英坩堝（內(nèi)徑>9mm/厚0.5mm） *可根據(jù)用戶使用需求更換為其他 |
放樣 | 水平抽出上蓋后置入樣品 |
樣品XY移動尺 | 可從密封腔外移動樣品，分辨率10μm，行程10mm |
氣氛控制 | 氣密腔，可充入保護(hù)氣體 |
外殼冷卻 | 可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近 |
安裝方式 | 水平安裝 或 垂直安裝 |
臺體尺寸/重量 | 159.7 mm x 86 mm x 22 mm / 500g |
配置列表
基本配置 | HCS621GXY冷熱臺 、mK2000B溫控器 |
可選配件 | 冷熱臺安裝支架 、液氮制冷系統(tǒng) 、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、、 真空系統(tǒng)（僅用于真空型號） |
功能特點(diǎn)
適用于 顯微鏡/光譜儀 |
-190℃~600℃ 可編程控溫（負(fù)溫需配液氮制冷系統(tǒng)） |
直徑26 mm帶通光孔的加熱區(qū) |
在XY方向移動樣品的微分移動尺 |
可充入保護(hù)氣體的氣密腔（另有真空腔型號） |
可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK |
*可做定制或改動，詳詢蘇州卡斯圖 |
溫控配件系列
用于Instec溫控裝置
適用范圍
用于搭配Instec冷熱臺、Instec溫控探針臺、Instec溫控晶圓夾盤、Instec冷熱平板、Instec定制溫控裝置使用。
溫控配件系列
安裝支架：用于將溫控裝置固定在用戶設(shè)備上 |
mK2000B溫控器，含InstecAPP溫控軟件，溫控裝置必選 |
LN2-SYS液氮制冷系統(tǒng)：液氮泵+液氮罐+液氮管線 |
外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)，帕爾貼式溫控裝置必選 |
MITO系列溫控聯(lián)用顯微鏡相機(jī)，含控制軟件 |
LWDC2長工作距離聚光鏡 |
真空系統(tǒng)：包括真空泵+真空管路，用于真空型溫控裝置 |
LN2-SYS液氮制冷系統(tǒng)
主要分為液氮泵和液氮罐兩部分。使用時需用管路將溫控裝置串接在液氮罐和液氮泵之間，溫控裝置加熱塊內(nèi)埋有封閉式進(jìn)出管路，液氮泵受mK2000B控制進(jìn)行抽氣，把液氮從液氮罐內(nèi)吸到溫控裝置的加熱塊中，實(shí)現(xiàn)溫控裝置主動降溫。
外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)
用于溫控裝置的外殼/底座的冷卻。溫控裝置加熱/制冷時，外殼/底座溫度會被帶得很燙/很涼，危害周遭人員設(shè)備及設(shè)備自身。用循環(huán)水讓外殼溫度保持在常溫附近，可以預(yù)防此災(zāi)害。
mK2000B溫控器
支持恒溫、恒速率變溫、暫停、編程溫控功能。具有冷熱獨(dú)立的多段PID控制、可保存4套20段校準(zhǔn)表等特點(diǎn)?？瑟?dú)立控制，也可從InstecAPP軟件控制。
溫度分辨率 | ±0.001℃ (熱敏電阻)，±0.01℃ (RTD)，±0.1℃ (熱電偶) |
控制接口 | USB虛擬串口 可選其他接口 |
可選項(xiàng) | LVDC線性可調(diào)直流電源，用于降低電噪音 |
溫控軟件 | InstecAPP，可提供多語言SDK |
安裝支架
針對用戶設(shè)備定制，可讓熱臺水平固定/垂直固定等，垂直光路/水平光路等的用戶設(shè)備皆可適用。通常有：
圓環(huán)式（用于圓形載物臺），平板式（用于方形載物臺）、
載物臺式（用于代替設(shè)備載物臺）、立式（用于水平光路）。
