測定范圍 | Z:800μm X:120mm |
取樣數(shù)/分解能 | 32,000點/16bit |
真直度精度 | 0.2μm/120mm |
測定倍率 | 縱:50~500,000 橫:1~5,000 |
測量速度 | 0.05~5mm/s |
上下移動范圍 | 320mm |