本產品是一種用于半導體晶圓制造過程中對聚酰亞胺(PSPI)這一種新型工程高分子材料固化 的專用設備,烘箱溫度可達450°c
性能特點:
?真空度可達10 Pa
?箱體內氧含量:≤20ppm,提供氧含量檢測接口
?曰本優(yōu)易控觸摸屏,升降溫斜率控制
?內腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質制作
型號MODEL | SXYJ-1 | SXYJ-2 |
內箱尺寸(H*W*D) CM Interior dimensions | 20*20*40 | 30*30*60 |
溫度范_ Temp.range | RT+20°C ?450°C | |
溫度波動度 Temp.constancy | 士 0.5°C | |
真空度 | lOpa | |
氧含量 | ≤20ppm | |
內箱材質 Interior material | SuS316 不銹鋼 Stainless Steel Plate | |
外箱材質 Exterior material | 鋼板靜電噴涂表面處理Baked Painting Steel | |
保溫材料 Insulatio material | 硅酸錦纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton | |
保護裝置 Safety devices | 聲光報警器超溫保護器Audible and visual alarm,Over Temp | |
功率(kva) | 9.0 | 12.0 |
電源 | AC380V±10%3φ 50HZ |
*歡迎訂制不同規(guī)格尺寸的非標準烘箱