DSX 系列數(shù)碼顯微鏡將我們的光學(xué)技術(shù)與的數(shù)字技術(shù)融為一體。DSX1000 數(shù)碼顯微鏡用于觀察和測量各種樣品，包括電子元件和金屬材料。此顯微鏡使用簡單，只要放上樣品，就可以輕松地完成 3D 觀察、測量、報告自動生成等一系列操作。
您只需要一臺 DSX1000 顯微鏡就可滿足各種觀察和分析需要，改善檢驗的工作流程。鏡頭數(shù)量增加至 15 個，涵蓋20-7,000X的放大倍率。用戶還可以利用該顯微鏡的六種觀察方法，對各種樣品進(jìn)行觀察與測量。比如突出顯示樣品表面的不規(guī)則和輪廓形貌。顯微鏡頭部和載物臺可以分別進(jìn)行± 90°的自由角度調(diào)節(jié)，從而滿足對各種復(fù)雜外形樣品的任意角度觀察。另外，新開發(fā)的算法可以實現(xiàn)更快的 3D 圖像采集，與奧林巴斯傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡相比，速度快了近十倍。最后，我們將根據(jù)每位用戶的工作環(huán)境校準(zhǔn)顯微鏡，以幫助用戶實現(xiàn)精確、高效的觀察和測量。
主要特點
-
放大倍率范圍 20–7,000X，可旋轉(zhuǎn)式載物臺。
-
可迅速切換物鏡和六種觀察方式。
-
遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)保證了在整個放大范圍內(nèi)的測量準(zhǔn)確度。
1、放大倍率范圍 20–7,000X，可旋轉(zhuǎn)式載物臺
DSX1000 數(shù)碼顯微鏡新增了 5 個物鏡，物鏡總數(shù)達(dá)到 15 個。20-7,000X 的放大倍率范圍實現(xiàn)了精確觀察，而長工作距離物鏡則實現(xiàn)了對不規(guī)則樣品的觀察，例如電路板和機(jī)加工零件。顯微鏡頭部和載物臺都可以旋轉(zhuǎn)± 90°，更易于觀察和分析薄樣品，如晶圓，或大型樣品，如汽車部件。
可調(diào)節(jié)的頭部和載物臺
顯微鏡頭部和載物臺可以分別旋轉(zhuǎn)± 90°
使用高分辨率長工作距離的物鏡
長工作距離使用戶能夠觀察不規(guī)則形狀的電子基板。
20–7,000X 放大倍率下的晶圓圖像對比
2、可迅速切換物鏡和六種觀察方式
顯微鏡的電動變焦光路結(jié)合了的觀察功能，可實現(xiàn)六種觀察方法和對比度增強(qiáng)功能：明場、暗場、MIX、偏光、簡易偏振和微分干涉。偏光觀察和對比度增強(qiáng)功能可以突出樣品表面的不規(guī)則和輪廓形貌。例如，此功能可用于在觀察晶圓表面較大的不規(guī)則形狀與細(xì)微破損和劃痕之間快速切換。從而用戶可以觀察到使用其他方法難以檢測到的對象。
太陽能電池圖像對比
（左圖：明場觀察，右圖：偏光觀察）
單側(cè)光線照射突出了表面的不規(guī)則形狀。該項技術(shù)適用于觀察不規(guī)則形狀、扭曲的樣品和槽口。
集成電路 (IC) 芯片圖像對比
（左圖：常規(guī)；右圖：帶對比度增強(qiáng)功能）
色彩清晰明亮的圖像替代了明暗圖像。
3、遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)保證了在整個放大范圍內(nèi)的測量精確性。*
汽車制造商、精密設(shè)備和其他產(chǎn)品制造商必須精確測量和分析產(chǎn)品的規(guī)格，以證明產(chǎn)品的安全性。DSX1000 數(shù)碼顯微鏡使用遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，在整個放大范圍內(nèi)圖像失真極低，實現(xiàn)了有保證的準(zhǔn)確度和重復(fù)性的高精度測量。為了確保準(zhǔn)確度，在完成 DSX1000 顯微鏡的安裝后，奧林巴斯的技術(shù)人員將根據(jù)客戶使用環(huán)境對每臺顯微鏡進(jìn)行校準(zhǔn)。
遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)和非遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)的圖像采集對比圖
改變聚焦位置不會改變圖像大小。
此新聞稿中的公司名稱和產(chǎn)品名稱分別是其對應(yīng)公司的商標(biāo)或注冊商標(biāo)。
*必須由奧林巴斯進(jìn)行校準(zhǔn)。
DSX1000數(shù)碼顯微鏡規(guī)格
| | DSX10-SZH | DSX10-UZH | |
| 光學(xué)系統(tǒng) | 光學(xué)系統(tǒng) | 遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng) | |
| 變焦倍率 | 10X (電動) | ||
| 變焦放大方式 | 電動 | ||
| 校準(zhǔn) | 自動 | ||
| 鏡頭附件 | 快速切換，編碼型鏡頭附件，自動更新放大倍率和視野信息 | ||
| 總放大倍率（顯示器上） | 7000X | ||
| 工作距離 (W.D.) | 66.1 mm – 0.35 mm | ||
| 準(zhǔn)確度和重復(fù)性（X-Y 平面）*1 | 放大倍率準(zhǔn)確度：3% 放大倍率重復(fù)性：± 2% = 3σ n -1 | ||
| 重復(fù)性（Z 軸）*2 | 重復(fù)性（高度）: σ n – 1 ≤ 1 μm | ||
| 照像機(jī) | 圖像傳感器 | 1 / 1.2 英寸，235 萬像素彩色 CMOS | |
| 冷卻 | 珀爾帖冷卻 | ||
| 幀速率 | 60 fps（） | ||
| 常規(guī) | 1200 × 1200 (1: 1) / 1600 × 1200 (4: 3) | ||
| 精細(xì) | 不可用 | 1200 × 1200 (1: 1) / 1600 × 1200 (4: 3) | |
| 超精細(xì) | 不可用 | 3600 × 3600 (1: 1) / 4800 × 3600 (4: 3) | |
| 照明器 | 彩色光源 | LED | |
| 壽命 | 60,000 小時（設(shè)計值） | ||
| 觀察方法 | BF (明場) | 標(biāo)準(zhǔn) | |
| OBQ (偏斜) | 標(biāo)準(zhǔn) | ||
| DF (暗場) | 標(biāo)準(zhǔn) LED 光源四分區(qū)環(huán)形照明 | ||
| MIX (明場 + 暗場) | 標(biāo)準(zhǔn) 明場 + 暗場 同時照明 | ||
| PO (偏光) | 標(biāo)準(zhǔn) | ||
| DIC (微分干涉) | 不可用 | 標(biāo)準(zhǔn) | |
| 對比度增強(qiáng) | 標(biāo)準(zhǔn) | ||
| 景深擴(kuò)展 | 不可用 | 標(biāo)準(zhǔn) | |
| 透射照明 | 標(biāo)準(zhǔn)*3 | ||
| 聚焦裝置 | 驅(qū)動方式 | 電動 | |
| 行程 | 101 mm (電動) | ||
*1 必須由奧林巴斯或代理商的服務(wù)技術(shù)人員進(jìn)行校準(zhǔn)。為了保證 XY 的準(zhǔn)確度，需要用 DSX-CALS-HR（校準(zhǔn)標(biāo)樣）進(jìn)行校準(zhǔn)。
*2 當(dāng)使用 20X 或以上的物鏡時。
*3 需要使用選配件 DSX10-ILT。
| 物鏡 | DSX10-SXLOB | DSX10-XLOB | UIS2 | |
| 物鏡 | 樣品高度 | 50 mm | 115 mm | 145 mm |
| 樣品高度（自由角度觀察） | 50 mm | |||
| 齊焦距離 | 140 mm | 75 mm | 45 mm | |
| 鏡頭附件 | 鏡頭附件一體形 | 可用 | ||
| 總放大倍率 | 20X – 1400X | 42X – 5600X | 23X*4 – 7000X | |
| 實際視場 | 19,200 µｍ – 270 µｍ | 9,100 µｍ – 70 µｍ | 17,100 µｍ – 50 µｍ | |
| 適配器 | 擴(kuò)散照明裝置（可選） | 可用 | 不可用 | |
| 防反射照明裝置（可選） | 可用 | 不可用 | ||
| 鏡頭附件 | 安裝物鏡數(shù)量 | 1 個（物鏡和鏡片附件一體型） | 2 個 | |
| 物鏡盒 | 可保存三個物鏡附件 | |||
*4 使用 MPLFLN1.25X 時的總放大倍率
| 載物臺 | DSX10-RMTS | DSX10-MTS | U-SIC4R2 |
| XY 載物臺：電動/ 手動 | 電動（帶旋轉(zhuǎn)功能） | 電動 | 手動 |
| XY 行程 | 行程優(yōu)先模式：100 mm × 100 mm 旋轉(zhuǎn)優(yōu)先模式：50 mm× 50 mm | 100 mm × 100 mm | 100 mm × 105 mm |
| 旋轉(zhuǎn)角度 | 行程優(yōu)先模式：±20° 旋轉(zhuǎn)優(yōu)先模式：±90° | 不可用 | |
| 旋轉(zhuǎn)角度顯示 | 有 | 不可用 | |
| 承重 | 5 kg (11 lb) | 1 kg (2.2 lb) | |
| 機(jī)架 | 正置式機(jī)架 | 傾斜式機(jī)架 |
| Z 軸行程 | 50 mm (手動) | |
| 傾斜觀察角度 | 不可用 | ±90° |
| 傾斜角度顯示 | 不可用 | 有 |
| 傾斜方式 | 不可用 | 手動、固定/ 解除手柄 |
| 顯示器 | 23 英寸平板顯示器 |
| 分辨率 | 1920 (H) × 1080 (V) |
| 全系統(tǒng) | 正置式機(jī)架系統(tǒng) | 傾斜式機(jī)架系統(tǒng) |
| 重量（鏡架、觀察頭、電動載物臺、顯示器和控制臺） | 43.7 kg (96.3 lb) | 46.7 kg (103 lb) |
| 功耗 | 100 – 120 V / 220 – 240 V, 1.1 / 0 .54 A, 50 / 60 Hz | |
